Благодаря физико-механическим и химическим свойствам алмазоподобные углеродные (diamond-like carbon, DLC) покрытия представляют интерес в плане создания на их основе различных устройств, требующих использования широкозонных полупроводников с высокой мобильностью и низким коэффициентом температурного расширения [1, 2], включая высокотемпературную электронику, микроволновые устройства высокой мощности и микроэлектромеханические системы. Благодаря высокому пропусканию в ИК-спектре, DLC-пленки идеальны для создания защитных и противоотражающих покрытий различных оптических элементов [3]. Преимущество DLC-покрытий заключается также в их биосовместимости и коррозионной стойкости [4]. Все это диктует необходимость изучения механических свойств сверхтонких покрытий на их основе.

sitemap

Разработка: студия Green Art