Идея кластерных комплексов в микроэлектронике берет начало от так называемой «Бочки Лабунова», предложенной В.А.Лабуновым в 1983 году для производства сверхбольших интегральных схем. Именно эта идеология заложена в конструкцию технологической линии «сухой» фотолитографии «ОСНОВА-2Л», представляющей собой связанный в единую систему вакуумный литографический комплекс из восьми модулей.

sitemap

Разработка: студия Green Art