В ОАО “НИИ точного машиностроения” (Москва)1 разработан комплекс многофункционального вакуумно-технологического оборудования для прецизионного формирования наноструктур в технологии приборов нано- и субмикронной микроэлектроники и микромеханики. Оборудование оснащено перспективными ионно-плазменными реакторами, разработанными в Институте металлофизики НАН Украины (Киев)2 и в Институте ядерных исследований НАН Украины (Киев)3.

sitemap

Разработка: студия Green Art