НИИ точного машиностроения (НИИТМ) специализируется на разработке вакуумного оборудования для нанесения тонких пленок, плазмохимического травления, ионной имплантации приповерхностных слоев, стимулированного плазмой газофазного осаждения, а также физико-термического оборудования для осуществления процессов диффузии, окисления и отжига. Приоритетным направлением деятельности являются разработки оборудования для реализации новых технологических процессов, применяемых в наноэлектронике, микромеханике, при синтезе наноматериалов.

sitemap

Разработка: студия Green Art