В статье обобщен опыт развития рентгеновских исследовательских систем на базе двухволновой схемы проведения измерений для анализа твердотельных микро- и наноструктур. Особое внимание уделено использованию рентгеновских систем для исследования многослойных тонкопленочных структур наноэлектроники, а также описанию перспектив использования нового поколения портативных микрофокусных рентгеновских источников с анодными алмазными подложками.

DOI:10.22184/1993-8578.2015.56.2.58.69

sitemap

Разработка: студия Green Art