Качество фильтров на поверхностных акустических волнах (ПАВ) и объемных акустических волнах (ОАВ) зависит от геометрии слоев, причем погрешности должны лежать в субнанометровом диапазоне. В статье описывается технология, отвечающая указанным требованиям. Для корректировки размеров слоев используется фокусированный ионный луч и система перемещения обрабатываемой пластины.

DOI:10.22184/1993-8578.2015.57.3.34.39

sitemap

Разработка: студия Green Art