Японская корпорация Crestec разработала систему электронно-лучевой литографии высокого разрешения CABL-UH. В статье рассматриваются концепция, характеристики и потенциальные области применения этой системы.

DOI: 10.22184/1993-8578.2015.57.3.70.75

sitemap

Разработка: студия Green Art