На основе монокристаллических материалов с обратным пьезоэффектом разработаны меры перемещения нано- и пикометрового диапазонов, которые могут применяться для калибровки сканирующих зондовых и электронных микроскопов. Измерения величин перемещений мер производилось оптическими интерферометрами на основе лазеров со стабилизацией частоты излучения брэгговской и цезиевой ячейками. Меры перемещения и интерферометры могут использоваться в качестве манипуляторов и сенсоров в технологическом оборудовании и измерительных приборах, а также при проведении лабораторных работ по наноматериалам, наномеханике и нанометрологии.

DOI:10.22184/1993-8578.2015.59.5.74.80

sitemap

Разработка: студия Green Art