Рассматриваются особенности изменения физических свойств элементов структуры при их уменьшении до наноразмеров и перспективы использования этих эффектов в технологиях микроэлектроники.

УДК 54-1
ВАК 05.27.01
DOI: 10.22184/1993-8578.2017.75.4.84.103

sitemap

Разработка: студия Green Art