Рассмотрены условия формирования структур чувствительных элементов с заданными электрофизическими свойствами при создании пленочных преобразователей. Исследовано получение материалов с заданными свойствами и тонких пленок халькогенидов элементов первой группы с воспроизведением параметров соединений исходного материала на пленке. Технология создания пленочных преобразователей с заданными характеристиками совместима с другими процессами микроэлектроники и обеспечивает конструктивную и технологическую совместимость элементов преобразователей.

УДК 681.586, ВАК 05.27.06, DOI: 10.22184/1993-8578.2017.79.8.60.66

sitemap

Разработка: студия Green Art