НИИТМ разрабатывает исследовательское и промышленное технологическое оборудование для нано- и микроэлектроники, МЭМС, фотоники, фотовольтаики и других передовых направлений.

DOI: 10.22184/1993-8578.2018.81.2.126.130

sitemap

Разработка: студия Green Art