Корпусирование на уровне пластины может предотвратить повреждение МЭМС, а также загрязнение при резке, позволяя значительно уменьшить размеры и стоимость приборов.

DOI: 10.22184/1993-8578.2018.83.3.228.231

sitemap

Разработка: студия Green Art