Представлены результаты напыления различных полосовых фильтров – ИК-фильтр и тройной полосовой фильтр, полученных в установке Star.EOSS производства компании FHR. Нанесение пленок путем ионного распыления металлов в магнетронном разряде приводит к неравномерности пленок по толщине менее 0,25% (3 сигма) на подложках с диаметром от 200 до 300мм.

DOI: 10.22184/1993-8578.2019.12.2.136.139

sitemap

Разработка: студия Green Art