DOI: 10.22184/NanoRus.2019.12.89.211.215

Проведено исследование нескольких методов корпусирования СВЧ МЭМ-ключа на пластине GaAs, выбран метод с применением каркасной системы. С помощью математического моделирования определена оптимальная геометрия ячейки каркаса, отвечающая механическим и гидродинамическим требованиям. Разработана технология корпусирования.

sitemap

Разработка: студия Green Art