DOI: 10.22184/NanoRus.2019.12.89.511.514

Проведено исследование механической прочности мембранного элемента, представляющего собой двухслойную структуру из оксида и нитрида кремния на кремниевой подложке. Экспериментально определено критическое давление разрыва круглой мембраны для различных диаметров. Показана упругая деформация. Результаты численного моделирования в среде COMSOL показывают распределение механических напряжений по диаметру мембраны. Указана область разрыва мембраны. Приведено сравнение результатов аналитического расчета, численного моделирования и эксперимента.