eng
Спецвыпуск/2019
В. Ф. Тупикин, Ю. В. Герасименко, А. С. Ермакова, Н. В. Комаров, В. Н. Комаров, А. И. Сергиенко
Технологические особенности технохимической обработки пластин в технологическом процессе изготовления МЭМС и микросборок и перспективные конструктивные решения для их реализации
Технологические особенности технохимической обработки пластин в технологическом процессе изготовления МЭМС и микросборок и перспективные конструктивные решения для их реализации
Просмотры: 1092
DOI: 10.22184/NanoRus.2019.12.89.539.542
Рассмотрены особенности процессов объемной и поверхностной химической обработки пластин и формирование фоторезистивной маски при создании МЭМС. Определены требования, предъявляемые к технологическому оборудованию. Представлены конструктивные решения специального технологического оборудования для изготовлении МЭМС.
Рассмотрены особенности процессов объемной и поверхностной химической обработки пластин и формирование фоторезистивной маски при создании МЭМС. Определены требования, предъявляемые к технологическому оборудованию. Представлены конструктивные решения специального технологического оборудования для изготовлении МЭМС.
Отзывы читателей
