DOI: 10.22184/NanoRus.2019.12.89.549.550

Для сращивания кремниевых пластин в данной работе использовался процесс эвтектической пайки через напыленный на одну из сращиваемых пластин тонкий слой золота. При проверке образцов после процесса была обнаружена проблема неравномерного распределения золота по пластине. Чтобы избежать эффекта расползания золота по пластине в процессе сращивания, была разработана демпфирующая воздушная подушка.