DOI: 10.22184/1993-8578.2020.13.5.276.283

Методом струйной печати из устойчивых суспензий на поверхности МЭМС-структур с микронагревателем сформированы толстопленочные слои на основе нанокристаллического SnO2 с равномерной пористой структурой. Описаны параметры газовой чувствительности полученных материалов.

sitemap

Разработка: студия Green Art