Французская компания IBS (Ion Beam Services) хорошо известна в России и во всем мире своими системами ионной имплантации для легирования полупроводниковых пластин и эпитаксиальных структур. До 85% оборудования IBS поставляется на экспорт, в том числе в нашу страну. Системы серии IMC для мелко- и среднесерийного производства, а также исследований и опытно-конструкторских разработок отлично зарекомендовали себя в Новосибирске, Зеленограде, Москве. Также компания выпускает установки плазменной иммерсионной ионной имплантации PULSION, которые характеризуются сочетанием низкой энергии ионов и высокой дозы, стабильности процесса и возможности точного контроля глубины легирования. В 2017 году IBS представила новую разработку – платформу FLEXion, о которой нашему журналу рассказал первый заместитель генерального директора, д-р Жиль Матье.

DOI: 10.22184/1993-8578.2018.83.3.198.200

sitemap

Разработка: студия Green Art