eng
Спецвыпуск/2019
В. А. Четвериков, Г. В. Баранов, А. Г. Итальянцев, А. С. Ключников
Эффект порообразования при термическом росте силицидов металлов на поверхности объемных
Эффект порообразования при термическом росте силицидов металлов на поверхности объемных
Просмотры: 1140
DOI: 10.22184/NanoRus.2019.12.89.231
Экспериментально обнаружен эффект образования пор на поверхности кремниевых структур. Представлена феноменологическая модель порообразования в процессе реакции силицидирования на поверхности кремниевой fin-структуры.
Экспериментально обнаружен эффект образования пор на поверхности кремниевых структур. Представлена феноменологическая модель порообразования в процессе реакции силицидирования на поверхности кремниевой fin-структуры.
Отзывы читателей
