DOI: https://doi.org/10.22184/1993-8578.2023.16.5.266.270

Разработана двухступенчатая система нанопозиционирования по трем координатам X, Y и Z с точностью до 0,1 нм. Система нанопозиционирования предназначена для использования в сканирующей зондовой микроскопии, оптической микроскопии сверхвысокого разрешения и микролинзовой микроскопии. В статье рассмотрен пример построения сканирующего капиллярного микроскопа на основе разработанной системы прецизионных перемещений.