Выпуск #2/2024
А.А.Терентьев, А.В.Смирнов
ИССЛЕДОВАНИЯ ВОЗМОЖНОСТИ СОЗДАНИЯ ПЕРЕМЕННЫХ ЕМКОСТЕЙ НА ГИБКОЙ ОСНОВЕ ДЛЯ СИСТЕМ ДИСТАНЦИОННОГО ИЗМЕРЕНИЯ ДАВЛЕНИЯ
ИССЛЕДОВАНИЯ ВОЗМОЖНОСТИ СОЗДАНИЯ ПЕРЕМЕННЫХ ЕМКОСТЕЙ НА ГИБКОЙ ОСНОВЕ ДЛЯ СИСТЕМ ДИСТАНЦИОННОГО ИЗМЕРЕНИЯ ДАВЛЕНИЯ
Просмотры: 305
Аннотация. Отработана технология напыления кремния, удалось получить прочную поликристаллическую пленку кремния, обладающую хорошей адгезией на подложке ПЭТ толщиной 150…200 нм. С помощью данной технологии был изготовлен опытный образец гибкой переменной емкости. Исследование изменения емкости от изменения воздействующего на него давления имеет линейный вид, что позволяет открывает возможность использования данной технологии для изготовления датчика давления.
Теги: давление кремний переменная емкость растровая микроскопия тонкопленочные системы
Подпишитесь на журнал, чтобы прочитать полную версию статьи.
Теги: давление кремний переменная емкость растровая микроскопия тонкопленочные системы
Подпишитесь на журнал, чтобы прочитать полную версию статьи.
Отзывы читателей