DOI: https://doi.org/10.22184/1993-8578.2025.18.7-8.402.408

Аннотация. Эволюция атомно-силовой микроскопии от метода визуализации к инструменту для количественных измерений выдвигает на первый план проблему точной калибровки. Традиционные статические эталоны не обеспечивают необходимой универсальности и точности на субнанометровом уровне. В данной работе представлен новый подход к метрологии зондовых микроскопов, основанный на применении динамической измерительной меры. Этот подход предполагает использование дополнительного, четвертого к имеющимся трем пьезоманипуляторам, строго калиброванного пьезоманипулятора, который перемещает образец на заданное расстояние, создавая эталонный рельеф прямо во время сканирования. Это позволяет проводить калибровку сканирующей системы по осям X, Y и Z без специальных тест-структур, непосредственно на исследуемом образце. Экспериментально продемонстрирована возможность контроля вертикального разрешения микроскопа "ФемтоСкан" до 0,2 Å, что открывает новые возможности для точных наноразмерных измерений.