eng
Выпуск #3/2009
В.Тузовский, Д.Кравченко, А.Буздуган, А.Кравченко.
ALD-оборудование и технологии компании Beneq Oy – от инновации к внедрению
ALD-оборудование и технологии компании Beneq Oy – от инновации к внедрению
Просмотры: 1855
Дальнейшее развитие и совершенствование производимой продукции возможно с использованием технологий нового поколения – нанотехнологий. К ним, в частности, относят процессы молекулярной сборки материалов (ALD – атомно-слоевое осаждение из газовой фазы), позволяющие наносить сплошные, беспористые, повторяющие рельеф структуры (сверхтонкие пленки) на различные подложки (плоские пластины, 3D-подложки и порошки), управлять толщиной с точностью до одного атомного слоя (около 0,3 нм).
Одной из ведущих компаний, использующих метод ALD в микроэлектронике и в других отраслях, является Beneq Oy (Финляндия). Компания предлагает ALD-оборудование широкого спектра применения (от лабораторного до промышленного). На основе ALD ею разработаны уникальные технологии, которые могут быть использованы при формировании сверхтонких покрытий различного назначения (технологии солнечной энергетики, создание функциональных слоев в опто- и наноэлектронике, обработка поверхностей трибологическими и биосовместимыми покрытиями). В таблице приведено качественное сравнение ALD с другими методами.
Основные технологии, предлагаемые компанией
nSILVER® – защита серебряных изделий от коррозии, деградации и потускнения посредством нанесения тонкой, прозрачной, беспористой сапфировой пленки. Может быть использована для защиты ювелирных изделий без содержания серебра (бронза, золото).
nCLEAR® – защита металлов и пластиков от воздействий внешней среды (коррозия, диффузия активных веществ). Позволяет снизить коэффициент диффузии активных веществ в материал на три порядка. Может быть использована для защиты содержимого, упакованного в пластик или металл.
nTRIBO™ – нанесение износостойких тонких пленок на различные изделия из металла, керамики, пластика, стекла. Покрытия nTRIBO™ имеют высокую адгезию и могут быть получены при относительно низких температурах (начиная с 60°C).
nPRIMER™ – нанесение буферного (грунтового) слоя с использованием химически активных газообразных материалов, создающих сильную химическую связь между исходной подложкой и пленкой, наносимой поверх буфера. Процесс можно проводить при низких температурах (до 60°C).
nOPTO™ – нанесение функциональных слоев на элементы оптики (линзы) и оптоэлектроники (платы, светодиоды) различных размеров и геометрии. В частности, технология используется при нанесении просветляющего покрытия на кремниевые солнечные элементы, увеличивая КПД на 2–3%.
Другие возможности технологии ALD
Используя одну установку, можно разрабатывать собственные технологии, осаждать необходимые материалы, собирать с помощью молекулярного конструктора разнообразные структуры.
Используя весь накопленный компанией Beneq опыт в области разработки оборудования и внедрения технологий ALD, потребитель сможет разработать и внедрить на промышленном уровне собственную технологию.
Услуги, предоставляемые компанией Beneq Oy:
разработка покрытий для специального применения;
разработка промышленных технологий;
сервис – получение покрытия и контроль его качества.
Более подробную информацию можно получить у официальных представителей компании Beneq Oy в России:
www.quinttech.ru
Основные технологии, предлагаемые компанией
nSILVER® – защита серебряных изделий от коррозии, деградации и потускнения посредством нанесения тонкой, прозрачной, беспористой сапфировой пленки. Может быть использована для защиты ювелирных изделий без содержания серебра (бронза, золото).
nCLEAR® – защита металлов и пластиков от воздействий внешней среды (коррозия, диффузия активных веществ). Позволяет снизить коэффициент диффузии активных веществ в материал на три порядка. Может быть использована для защиты содержимого, упакованного в пластик или металл.
nTRIBO™ – нанесение износостойких тонких пленок на различные изделия из металла, керамики, пластика, стекла. Покрытия nTRIBO™ имеют высокую адгезию и могут быть получены при относительно низких температурах (начиная с 60°C).
nPRIMER™ – нанесение буферного (грунтового) слоя с использованием химически активных газообразных материалов, создающих сильную химическую связь между исходной подложкой и пленкой, наносимой поверх буфера. Процесс можно проводить при низких температурах (до 60°C).
nOPTO™ – нанесение функциональных слоев на элементы оптики (линзы) и оптоэлектроники (платы, светодиоды) различных размеров и геометрии. В частности, технология используется при нанесении просветляющего покрытия на кремниевые солнечные элементы, увеличивая КПД на 2–3%.
Другие возможности технологии ALD
Используя одну установку, можно разрабатывать собственные технологии, осаждать необходимые материалы, собирать с помощью молекулярного конструктора разнообразные структуры.
Используя весь накопленный компанией Beneq опыт в области разработки оборудования и внедрения технологий ALD, потребитель сможет разработать и внедрить на промышленном уровне собственную технологию.
Услуги, предоставляемые компанией Beneq Oy:
разработка покрытий для специального применения;
разработка промышленных технологий;
сервис – получение покрытия и контроль его качества.
Более подробную информацию можно получить у официальных представителей компании Beneq Oy в России:
www.quinttech.ru
Отзывы читателей
