9 октября 2009 года в Технологическом центре (ТЦ) МИЭТ (Зеленоград) состоялась международная конференция “Технологии микро- и наноэлектроники и микросистемной техники”. Мероприятие проводилось при поддержке Федерального агентства по науке и инновациям с участием Института нанотехнологий микроэлектроники РАН и МИЭТ.

sitemap
Наш сайт использует cookies. Продолжая просмотр, вы даёте согласие на обработку персональных данных и соглашаетесь с нашей Политикой Конфиденциальности
Согласен
Поиск:

Вход
Архив журнала
Журналы
Медиаданные
Редакционная политика
Реклама
Авторам
Контакты
TS_pub
technospheramag
technospheramag
ТЕХНОСФЕРА_РИЦ
© 2001-2025
РИЦ Техносфера
Все права защищены
Тел. +7 (495) 234-0110
Оферта

Яндекс.Метрика
R&W
 
 
Вход:

Ваш e-mail:
Пароль:
 
Регистрация
Забыли пароль?
Книги по нанотехнологиям
Головин Д.Ю., Тюрин А.И., Самодуров А.И., Дивин А. Г., Головин Ю.И.; под общей редакцией Ю.И. Головина
Пул Ч.П. мл., Оуэнс Ф.Дж.
Другие серии книг:
Мир материалов и технологий
Библиотека Института стратегий развития
Мир квантовых технологий
Мир математики
Мир физики и техники
Мир биологии и медицины
Мир химии
Мир наук о Земле
Мир электроники
Мир программирования
Мир связи
Мир строительства
Мир цифровой обработки
Мир экономики
Мир дизайна
Мир увлечений
Мир робототехники и мехатроники
Для кофейников
Мир радиоэлектроники
Библиотечка «КВАНТ»
Умный дом
Мировые бренды
Вне серий
Библиотека климатехника
Мир транспорта
Мир фотоники
Мир станкостроения
Мир метрологии
Мир энергетики
Книги, изданные при поддержке РФФИ
Выпуск #5/2009
П.Мальцев.
Международная конференция по микро- и наноэлектронике и микросистемной технике
Просмотры: 3106
9 октября 2009 года в Технологическом центре (ТЦ) МИЭТ (Зеленоград) состоялась международная конференция “Технологии микро- и наноэлектроники и микросистемной техники”. Мероприятие проводилось при поддержке Федерального агентства по науке и инновациям с участием Института нанотехнологий микроэлектроники РАН и МИЭТ.
В конференции приняли участие ученые, специализирующиеся в следующих областях:
Теория и моделирование нанотехнологии: самоорганизация в полупроводниковых структурах; квантовые точки и нити, наноразмерные кластеры, образование, разрушение, легирование, в том числе одноатомное; термодинамика образования кластеров и комплексов; кинетика кластеризации и преципитации в неупорядоченных полупроводниковых структурах: кинетика эпитаксиального роста пленок, квантовых нитей и точек.
Нанотрубки и пористые материалы: структура, механические, электронные и магнитные свойства, процессы роста, явления переноса, спектроскопия, люминесценция, комбинационное рассеяние света, приборы на основе квантовых проволок: сенсоры, полевые транзисторы, биосенсоры, тензодатчики, МЭМС.
Наноэлектроника: принципы конструирования нанообъектов, одноэлектронные и однофотонные приборы, приборы с квантовыми ямами, особенности диагностики и контроля качества; влияние процессов разупорядочения.
Наносенсоры: новые материалы, фуллерены и сенсоры на их основе, среды с упорядоченными наноразмерными включениями, датчики давления, вибрации и ускорений.

МЭМС и наноустройства: перемещения, движения, перекачки жидкости, позиционирования.
Биотехнологии, медицина и здравоохранение: биочипы, молекулярные кластеры, сенсоры для биоструктур; наноразмерные объекты в медицине, здравоохранении, других областях науки и техники.
Радиационные материалы: дефектообразование, кластеризация, дислокации, изменение под воздействием излучений механических и электрических свойств полупроводников, полупроводниковых структур и других материалов.
В состав Программного комитета вошли: В.Вернер – Председатель программного комитета, д.ф.-м.н., проф., председатель НТС ТЦ МИЭТ; Ю.Гуляев – акад. РАН, директор-организатор ИНМЭ РАН; О.Косичкин – к.т.н., зам. директора ИНМЭ РАН; В.Кузнецов – д.т.н., директор науки и развития ASM (Голландия); В.Лабунов – акад. НАНБ, гл. научн. сотр., БГУ информатики и радиоэлектроники (Белоруссия); С.Никитов – чл.-кор. РАН, зам. директора ИРЭ РАН; А.Резнёв – д.т.н., проф., директор НИИ ФСБ; А.Сауров – чл.-кор. РАН, директор ТЦ МИЭТ; Ю.Чаплыгин – чл.-кор. РАН, ректор МИЭТ; Н.Шелепин – д.т.н., зам. генерального директора по науке ОАО “НИИМЭ и завод “Микрон”.
Значительный интерес участников вызвало концептуальное выступление Н.Герасименко (“Наноинженерия – воплощение нанотехнологии в реальной продукции”, авторы С.Гаврилов, Н.Герасименко, Б.Рыгалин, С.Тимошенков – МИЭТ).
Докладчик отметил, что практически любое приборное решение с использованием нанотехнологии является достаточно сложным сочетанием различных конструктивных подходов с учетом принципиально новых свойств материалов и элементов, проявляющихся при переходе в наноразмерную область. Это требует решения инженерных задач, связанных с измерением параметров, привлечением новых технологических процессов, необходимости сочетания принципиально новых свойств отдельных компонентов и устройств. Во всех этих случаях речь идет о самостоятельном направлении под общим названием “наноинженерия”, под которой в наиболее лаконичной форме можно понимать систему технических методов и средств создания наносистем, включая наноматериалы, наноустройства и наносистемную технику.
Эти термины применяются в соответствии с определениями, предложенными в Концепции развития в России работ в области нанотехнологий на период до 2010 года, которая была в основном одобрена Правительством РФ 18 ноября 2004 года, а также в Программе развития наноиндустрии в стране до 2015 года (принята 17 января 2008 г.).
Общим направлением наноинженерии следует считать создание приборов и устройств, в состав которых входят компоненты, конструктивные элементы, детали и другие составляющие, построенные на использовании наноструктурных материалов (нанокристаллов, гетероструктур, тонких пленок, пористых материалов) и реализующие принципиально новые свойства, обусловленные переходом в наноразмерную область.
Принципиальная особенность функциональных наносистем – необходимость решения проблем, связанных с сочетанием наноразмерных элементов и применением наноинженерии.
Типичные примеры микро- и наносистемной техники – различные наноустройства и прежде всего НЭМС и МЭМС. В наносистемную технику могут быть, в частности, встроены компоненты, разработанные с использованием квантово-размерных эффектов электронного характера. При этом должны учитываться эффекты, определяющие механические, тепловые, химические свойства не только самих компонентов, но и инженерной (приборной) системы в целом. В этом случае наноинженерия в качестве самостоятельного направления должна базироваться на специфических подходах, связанных как с необходимостью конструктивного сочетания компонентов, так и с потребностью в разработке новых методов расчета и моделирования.
Рабочие параметры НЭМС и МЭМС определяются не только конструкционными особенностями, но и в большой степени зависят от выбора используемых для их создания материалов и технологии. В частности, как ожидается, благодаря повышенной износостойкости, быстродействие микромеханических механизмов (ключей, акселерометров) в скором времени может достигнуть гигагерцевых частот.
Термин «наноинженерия» проиллюстрирован, прежде всего, на примерах, связанных с электронными приборами и системами. Это направление наиболее близко авторам доклада и включает яркие примеры с точки зрения использования новых принципов и критериев, определяющих понятия «наноматериалы», «нанотехнологии». Кроме того, оно свидетельствует о появлении принципиально новых классов приборов и устройств и об их достаточно широком внедрении в современную практику. Прежде всего следует отметить, что микроэлектроника с переходом на проектные нормы 45–65 нм становится наноэлектроникой.
В выступлении отмечено, что Государственной корпорацией “Российская корпорация нанотехнологий” (ГК "Роснанотех") сформирован проект Программы стандартизаций в наноиндустрии по тематическим направлениям, определенным в ФЦП “Развитие инфраструктуры наноиндустрии в Российской Федерации на 2008–2010 гг.”. Основа проекта – предложения, представленные техническими комитетами по стандартизации, осуществляющими работы в сфере нанотехнологий, головными организациями отраслей по направлениям развития нанотехнологий в составе национальной нанотехнологической сети, другими организациями, применяющими наноматериалы и нанотехнологии.
Головная организация раздела проекта Программы стандартизации в наноиндустрии по тематическому направлению “Наноинженерия” – МИЭТ. В качестве приоритетных в Программе выбраны задания в соответствии с тематической направленностью национальной нанотехнологической сети и проектов в области нанотехнологий и продукции наноиндустрии, принятых к инвестированию из средств ГК “Роснанотех”.
Учитывая комплексный характер Программы, для целей стандартизации устанавливается обобщенная классификация объектов, включающая внутренние градации нанотехнологий с подвидами для каждого конкретного направления, что обусловливает структуру и содержание ее разделов:
Наноэлектроника и нанофотоника:
материалы наноэлектроники, в том числе: полупроводниковые материалы и наногетероструктуры; нанотрубки и нанопроволоки; нанокомпозиты, молекулы и био-
структуры;
наноэлектронные приборы, в том числе: запоминающие устройства с наноразмерами элементов; логические переключатели с нанопотреблением энергии; нанофотоника; нанофотовольтаика; СВЧ-наносистемы; квантовые процессоры.
Наноинженерия:
наноинженерия в приборостроении и машиностроении;
микро- и наносистемная техника: МЭМС и НЭМС; нанооптика; наносенсоры;
интерфейсы и транспорты наносистем;
технология формирования наноструктур;
комплекс методов контроля наносистем: метрологическое обеспечение; микроскопия; испытания; сертификация.
Функциональные материалы и высокочистые вещества:
наноструктурированные металлы и сплавы с особыми механическими свойствами;
особо чистые металлы и сплавы;
наноструктурированные керамические и композиционные материалы и покрытия;
сенсорные нанокомпозиты;
водородабсорбирующие наноматериалы, интеркаляционные материалы и твердые электролиты;
катализаторы;
особо чистые вещества и порошки.
В Программе имеются и другие разделы: функциональные материалы для энергетики; функциональные материалы для космической нанобиотехнологии; конструкционные наноматериалы; нанотехнологии для систем безопасности.
Следует отметить, что к видам деятельности по развитию и реализации наноиндустрии относится производство наноэлектронных компонентов (наноэлектроника, нанофотоника, нанофотовольтаика и СВЧ-наносистемы) и наносистемной техники (МЭМС, наносенсоры, нанооптика).
Работа конференции завершилась выступлениями победителей конкурса молодых ученых НАНОФОРУМА-2008
и НАНОФОРУМА-2009 по секции “Наноэлектромеханические
системы”.
По решению Оргкомитета конференции наиболее интересные доклады в виде статей будут представлены в журнале “Нано- и микросистемная техника” (2009, № 12).
 
 Отзывы читателей
Разработка: студия Green Art