eng
Выпуск #6/2007
В.Тупикин.
Установки с ванной мегазвуковой промывки для обработки кремниевых пластин в органических растворителях
Установки с ванной мегазвуковой промывки для обработки кремниевых пластин в органических растворителях
Просмотры: 1552
Цель работы заключалась в создании установки с ванной мегазвуковой промывки кремниевых пластин ~100 мм, используемых для получения наноразмерных монокристаллических структур.
Обработка пластин в стандартных кассетах по 25 штук проводится в органических растворителях с температурой вспышки не ниже чем у N-метил-α-пироллидона.
Конструкция установки позволяет обеспечить равномерность сканирования всей поверхности пластин мегазвуковым лучом в ванне мегазвуковой очистки.
Блок подачи растворителей выполнен из нержавеющей стали, он обеспечивает заполнение ванн, рецикл и слив отработанных органических растворителей в емкости для транспортировки на утилизацию. Нагрев и рециркуляцию реагентов в снабженных водоохлаждаемыми крышками ваннах с органическими растворителями обеспечивают специальные термостаты.
Качество промывки изделий контролируется с помощью датчиков удельного сопротивления, установленных на входе и выходе из ванны финишной промывки, или по времени.
Система управления установкой выполнена на базе микропроцессора с выводом информации на текстовый дисплей и обеспечивает программирование технологических режимов и индикацию заданных и фактических параметров обработки. Для эксплуатации установки необходимы:
трехфазная четырехпроводная сеть переменного тока напряжением 380/220 В и частотой 50 Гц;
линия очищенного азота (азот осушен до точки росы -65°С, давление (0,2–0,25) МПа или (2–2,5) кгс/см2, расход не менее 1,5 м3/ч);
линия сжатого воздуха (давление (0,45–0,60) МПа или (4,5–6) кгс/см2, расход не менее 6 м3/ч);
линия деионизованной воды марки А (давление (0,2– 0,25) МПа или (2–2,5) кгс/см2, расход не менее 5 л/ч);
химически стойкая канализация диаметром не менее 63 мм;
вытяжная вентиляция производительностью не менее 1000 м3/ч.
Обработка пластин в стандартных кассетах по 25 штук проводится в органических растворителях с температурой вспышки не ниже чем у N-метил-α-пироллидона.
Конструкция установки позволяет обеспечить равномерность сканирования всей поверхности пластин мегазвуковым лучом в ванне мегазвуковой очистки.
Блок подачи растворителей выполнен из нержавеющей стали, он обеспечивает заполнение ванн, рецикл и слив отработанных органических растворителей в емкости для транспортировки на утилизацию. Нагрев и рециркуляцию реагентов в снабженных водоохлаждаемыми крышками ваннах с органическими растворителями обеспечивают специальные термостаты.
Качество промывки изделий контролируется с помощью датчиков удельного сопротивления, установленных на входе и выходе из ванны финишной промывки, или по времени.
Система управления установкой выполнена на базе микропроцессора с выводом информации на текстовый дисплей и обеспечивает программирование технологических режимов и индикацию заданных и фактических параметров обработки. Для эксплуатации установки необходимы:
трехфазная четырехпроводная сеть переменного тока напряжением 380/220 В и частотой 50 Гц;
линия очищенного азота (азот осушен до точки росы -65°С, давление (0,2–0,25) МПа или (2–2,5) кгс/см2, расход не менее 1,5 м3/ч);
линия сжатого воздуха (давление (0,45–0,60) МПа или (4,5–6) кгс/см2, расход не менее 6 м3/ч);
линия деионизованной воды марки А (давление (0,2– 0,25) МПа или (2–2,5) кгс/см2, расход не менее 5 л/ч);
химически стойкая канализация диаметром не менее 63 мм;
вытяжная вентиляция производительностью не менее 1000 м3/ч.
Отзывы читателей
