Цель работы заключалась в создании установки с ванной мегазвуковой промывки кремниевых пластин ~100 мм, используемых для получения наноразмерных монокристаллических структур. Обработка пластин в стандартных кассетах по 25 штук проводится в органических растворителях с температурой вспышки не ниже чем у N-метил-α-пироллидона. Конструкция установки позволяет обеспечить равномерность сканирования всей поверхности пластин мегазвуковым лучом в ванне мегазвуковой очистки. Блок подачи растворителей выполнен из нержавеющей стали, он обеспечивает заполнение ванн, рецикл и слив отработанных органических растворителей в емкости для транспортировки на утилизацию. Нагрев и рециркуляцию реагентов в снабженных водоохлаждаемыми крышками ваннах с органическими растворителями обеспечивают специальные термостаты. Качество промывки изделий контролируется с помощью датчиков удельного сопротивления, установленных на входе и выходе из ванны финишной промывки, или по времени. Система управления установкой выполнена на базе микропроцессора с выводом информации на текстовый дисплей и обеспечивает программирование технологических режимов и индикацию заданных и фактических параметров обработки.
Для эксплуатации установки необходимы: трехфазная четырехпроводная сеть переменного тока напряжением 380/220 В и частотой 50 Гц; линия очищенного азота (азот осушен до точки росы -65°С, давление (0,2–0,25) МПа или (2–2,5) кгс/см2, расход не менее 1,5 м3/ч); линия сжатого воздуха (давление (0,45–0,60) МПа или (4,5–6) кгс/см2, расход не менее 6 м3/ч); линия деионизованной воды марки А (давление (0,2– 0,25) МПа или (2–2,5) кгс/см2, расход не менее 5 л/ч); химически стойкая канализация диаметром не менее 63 мм; вытяжная вентиляция производительностью не менее 1000 м3/ч.