Более 30 лет фирма Hiden Analytical – лидер в разработке и производстве приборов на основе квадрупольных масс-спектрометров для исследований. Масс-спектрометры Hiden получили мировое признание благодаря точности и высокой чувствительности при анализе остаточных газов, плазменных технологиях и исследованиях поверхностей.
Более 30 лет фирма Hiden Analytical – лидер в разработке и производстве приборов на основе квадрупольных масс-спектрометров для исследований. Масс-спектрометры Hiden получили мировое признание благодаря точности и высокой чувствительности при анализе остаточных газов, плазменных технологиях и исследованиях поверхностей.
Особенности анализаторов остаточных газов: Программное управление MASsoft через RS232, RS485 или использование распределенной системы через локальную сеть Ethernet; быстрый доступ к гистограммам, анализ трендов и отображение пиков в аналоговом режиме; смешанный режим сканирования; отображение в реальном времени данных в графической и табличной формах; простое наведение курсором мыши при идентификации амплитуды пиков; вычитание фона в реальном времени, автоматическое масштабирование массового диапазона; поддержка экспорта данных в формате ASCII и во всех Windows-приложениях; поддержка Dynamic Data Exchange для передачи данных в реальном времени другим приложениям-клиентам DDE Windows. Анализаторы остаточных газов Hiden RGA предоставляют широкий выбор вариантов квадрупольных масс-анализаторов, ионных источников и детекторов для различных приложений, в частности: анализ остаточных газов, например в камерах имитации космического пространства; анализ газовыделения в вакуумных объемах;
исследование дегазации; оценка производительности вакуумных насосов; контроль вакуумного отжига; анализ загрязнений вакуумных объемов и состава примесей в газовых источниках. Приборы обеспечивают чувствительность на уровне ppm (частей на миллион), высокую стабильность (не более ±0.5% за 24 ч), выпускаются в различных модификациях. Прокалиброваны по газу-стандарту и имеют дополнительную ионизационную систему измерения.
В серию входит оборудование трех конструктивных исполнений: HALO – анализ остаточных газов Возможность измерения диапазона масс 200 – 300 а.е.м. (атомных единиц масс) и парциального давления до 2⋅10-13 мбар. Вакуумный снимок – анализ остаточной газовой фазы в вакуумных камерах при контроле их технологического состояния. Анализ трендов – наблюдение парциальных давлений различных газов в реальном времени. Течеискатели остаточных газов c высокой чувствительностью по гелию. 3F – квадруполь с тремя фильтрами для прецизионного анализа газов Возможность измерения диапазона масс 300 – 510 а.е.м. и парциального давления до 2⋅10-14 мбар. 3F-технология позволяет расширить исследуемый диапазон масс и разрешающую способность по массе, повысить чувствительность по тяжелым частицам, улучшить стойкость к загрязнению. 3F – PIC-квадруполь с тремя фильтрами и с четным детектором ионов для изучения быстрых процессов Возможность измерения диапазона масс 300 – 510 а.е.м. и парциального давления до 5⋅10-15 мбар. Обеспечивается 7 порядков непрерывного диапазона с возможностью расширения до 12 порядков.
Эксклюзивный представитель Hiden Anaytical в России и СНГ – ЗАО "Интек Аналитика". Подробная информация на сайте www.intech-group.ru
Specific features of RGA series: MASsoft software control through RS232, RS485 or use of a distributed system through local Ethernet network; quick access to histograms, analysis of trends and analogue display of peaks; mixed mode of scanning; display in real time of data in graphic and tabular forms; cursor for peak height identification under mouse control; real time background subtract, automatic mass scale alignment; support of data export in ASCII format and in all Windows applications; support of Dynamic Data Exchange for data transfer in real time to other applications -clients. Hiden RGA – Residual Gas Analysers are presented in a wide choice of versions of quadrupole mass analyzers, ionic sources and detectors for various applications, in particular: Analysis of the residual gases, for example, in space imitating chambers; Analysis of gas evolution in vacuum volumes; Outgassing studies RGA/ Leak Detection Virtual Leaks / Desorption Bakeout cycles Pump Performance Chamber / Process gas Contaminants
The devices ensure sensitivity at ppm level, high stability (not more than ±0.5% in 24 hours), and are produced in various modifications. All of them are calibrated by a gas-standard and have an additional ion measuring system.
The series includes equipment in three design versions:
HALO – Analysis of the residual gases For multi-purpose HV/UHV vacuum applications Interchangeable gauge heads and control modules reduce operational and aftersales support costs. Mass range options 200 amu and 300 amu. Dual Faraday / Electron Multiplier detector with partial pressure range 10-4 mbar to 10-13 mbar. Zero blast baseline drift is eliminated 3F – Quadrupole with three filters for a precision gas analysis Triple mass filter technology for high sensitivity with enhanced contamination resistance and abundance sensitivity. Application-specific ionisation sources for gas analysis, molecular beam measurement and UHV/XHV studies. Mass range options 300 amu and 500 amu. Minimum detectable partial pressure 2⋅10-14 mbar. 3F – PIC Quadrupole with three filters for fast event studies with optimum sensitivity at UHV/XHV pressure regimes Fast pulse ion counting detector with continuous 7 decade measurement from 1c/s to 107c/s. Fully compatible with the 3F series ionisation sources. Mass range options 300 amu and 500 amu. Minimum detectable partial pressure 5⋅10-15 mbar.
Intech Analytics JSC is the exclusive representative of Hiden Anaytical in Russia and CIS. For more detailed information see site www.intech-group.ru