Представлены результаты разработки и оптимизации параметров экспериментальной установки для нанесения покрытий из различных материалов, выполненной на основе гибридной плазменной системы, которая состоит из магнетронного и вакуумно-дугового распылительных источников, а также ассистирующего геликонного источника.

DOI:10.22184/1993-8578.2016.64.2.74.86

sitemap

Разработка: студия Green Art