Нанопечатная литография (НПЛ) применяется в производстве устройств и компонентов для оптики – включая светодиоды, дисплеи и оптические сенсоры, – электроники, микрофлюидики, фотовольтаики, а также других высокотехнологичных областей. Ведущим производителем решений для НПЛ является австрийская компания EV Group (EVG).
DOI:10.22184/1993-8578.2016.65.3.28.29
DOI:10.22184/1993-8578.2016.65.3.28.29
Господин Шютте, какие направления НПЛ развивает EV Group?
В настоящее время различают три основных вида НПЛ: горячее тиснение, УФ-тиснение и микроконтактную печать. Области их использования различны, хотя и пересекаются друг с другом. Мы предлагаем оборудование, материалы и технологические решения для всех трех технологий.
Расскажите, пожалуйста, о возможностях этих технологий и разработках EV Group более подробно.
Горячее тиснение позволяет работать с пластинами диаметром до 300 мм, получая структуры с разрешением до 50 нм. Тиснение на полимерных пластинах и полимерных покрытиях, как правило, выполняется в вакууме при температуре около 250°С. В нашем оборудовании возможен нагрев до 650°С, что позволяет работать со стеклом и другими материалами, характеризующимися высокой температурой плавления. Штампы традиционно изготавливаются из кремния, оксида кремния или металлов, например, никеля. Мы предлагаем также полимерные штампы, которые значительно дешевле металлических и кремниевых. Линейка оборудования включает как полуавтоматические, так и автоматические модели для исследований и промышленного производства, в том числе систему, работающую с рулонной пленкой. Горячее тиснение применяется в производстве устройств для микрофлюидики, дифракционной оптики, а также в прототипировании.
УФ-тиснение – наиболее востребованная заказчиками разновидность НПЛ. При этой технологии прозрачный штамп воздействует на слой жидкой фотополимеризующейся композиции, после чего последняя закрепляется под действием УФ-излучения. Жесткие штампы изготавливаются из кварцевого стекла, гибкие – из полимера, например из ПДМС. Помимо устройств, выполняющих тиснение за один цикл, мы разработали систему EVG 770 UV-NIL Stepper, которая за несколько циклов последовательно обрабатывает пластины диаметром до 300 мм при разрешении менее 25 нм. УФ-НПЛ используется в производстве оптических компонентов, полупроводниковых приборов, датчиков.
Системы EVG 610/620, EVG 6200 и EVG 720 могут использоваться как для УФ-НПЛ, так и для микроконтактной печати, когда вещество наносится штампом на подложку. Эта технология применяется в биомедицинских приложениях, фотовольтаике, производстве гибкой электроники.
Как оцениваются перспективы развития НПЛ?
НПЛ включена экспертным сообществом в дорожную карту развития полупроводниковых технологий International Technology Roadmap for Semiconductors (ITRS) в качестве возможной альтернативы традиционным процессам производства электронных компонентов при топологических нормах ниже 22 нм. Наша компания активно работает над совершенствованием НПЛ. В частности, для УФ-НПЛ мы создали технологию SmartNIL, которая позволяет получать структуры разной формы, в том числе трехмерные, при разрешении менее 40 нм. При этом используются гибкие штампы, которые выдерживают более 100 циклов, что является прекрасным результатом в сравнении с представленными на рынке альтернативами. Следует отметить, что мы значительно усовершенствовали технологию производства гибких штампов, сократив время их изготовления и повысив качество, причем при лабораторных испытаниях удается получать разрешение менее 15 нм. Технология SmartNIL используется в нашей новейшей системе EVG Hercules NIL, предназначенной для полностью автоматической обработки пластин диаметром 200 мм с производительностью до 40 пластин/ч.
Каковы преимущества сотрудничества с EV Group?
Наша компания является технологическим лидером в области НПЛ. Мы предлагаем комплексные решения, включающие оборудование, материалы и технологические ноу-хау. Клиенты могут предоставить свои пластины для тестирования, и специалисты нашего технологического центра подберут для них оптимальное решение.
В настоящее время различают три основных вида НПЛ: горячее тиснение, УФ-тиснение и микроконтактную печать. Области их использования различны, хотя и пересекаются друг с другом. Мы предлагаем оборудование, материалы и технологические решения для всех трех технологий.
Расскажите, пожалуйста, о возможностях этих технологий и разработках EV Group более подробно.
Горячее тиснение позволяет работать с пластинами диаметром до 300 мм, получая структуры с разрешением до 50 нм. Тиснение на полимерных пластинах и полимерных покрытиях, как правило, выполняется в вакууме при температуре около 250°С. В нашем оборудовании возможен нагрев до 650°С, что позволяет работать со стеклом и другими материалами, характеризующимися высокой температурой плавления. Штампы традиционно изготавливаются из кремния, оксида кремния или металлов, например, никеля. Мы предлагаем также полимерные штампы, которые значительно дешевле металлических и кремниевых. Линейка оборудования включает как полуавтоматические, так и автоматические модели для исследований и промышленного производства, в том числе систему, работающую с рулонной пленкой. Горячее тиснение применяется в производстве устройств для микрофлюидики, дифракционной оптики, а также в прототипировании.
УФ-тиснение – наиболее востребованная заказчиками разновидность НПЛ. При этой технологии прозрачный штамп воздействует на слой жидкой фотополимеризующейся композиции, после чего последняя закрепляется под действием УФ-излучения. Жесткие штампы изготавливаются из кварцевого стекла, гибкие – из полимера, например из ПДМС. Помимо устройств, выполняющих тиснение за один цикл, мы разработали систему EVG 770 UV-NIL Stepper, которая за несколько циклов последовательно обрабатывает пластины диаметром до 300 мм при разрешении менее 25 нм. УФ-НПЛ используется в производстве оптических компонентов, полупроводниковых приборов, датчиков.
Системы EVG 610/620, EVG 6200 и EVG 720 могут использоваться как для УФ-НПЛ, так и для микроконтактной печати, когда вещество наносится штампом на подложку. Эта технология применяется в биомедицинских приложениях, фотовольтаике, производстве гибкой электроники.
Как оцениваются перспективы развития НПЛ?
НПЛ включена экспертным сообществом в дорожную карту развития полупроводниковых технологий International Technology Roadmap for Semiconductors (ITRS) в качестве возможной альтернативы традиционным процессам производства электронных компонентов при топологических нормах ниже 22 нм. Наша компания активно работает над совершенствованием НПЛ. В частности, для УФ-НПЛ мы создали технологию SmartNIL, которая позволяет получать структуры разной формы, в том числе трехмерные, при разрешении менее 40 нм. При этом используются гибкие штампы, которые выдерживают более 100 циклов, что является прекрасным результатом в сравнении с представленными на рынке альтернативами. Следует отметить, что мы значительно усовершенствовали технологию производства гибких штампов, сократив время их изготовления и повысив качество, причем при лабораторных испытаниях удается получать разрешение менее 15 нм. Технология SmartNIL используется в нашей новейшей системе EVG Hercules NIL, предназначенной для полностью автоматической обработки пластин диаметром 200 мм с производительностью до 40 пластин/ч.
Каковы преимущества сотрудничества с EV Group?
Наша компания является технологическим лидером в области НПЛ. Мы предлагаем комплексные решения, включающие оборудование, материалы и технологические ноу-хау. Клиенты могут предоставить свои пластины для тестирования, и специалисты нашего технологического центра подберут для них оптимальное решение.
Отзывы читателей