Одной из наиболее востребованных марок оборудования для фотолитографии на предприятиях микроэлектронной отрасли является SUSS MicroTec. В России установлено около 80 систем для нанесения и проявления фоторезиста, а всего эксплуатируется до 150 машин производства немецкой компании.

DOI:10.22184/1993-8578.2016.65.3.30.32

sitemap

Разработка: студия Green Art