eng
Выпуск #6/2017
Д.Георгиев
SEMIEXPO – новая выставка российской полупроводниковой промышленности
SEMIEXPO – новая выставка российской полупроводниковой промышленности
Просмотры: 2751
С приостановлением проведения выставок SEMICON Russia место в календаре мероприятий, посвященных полупроводниковой промышленности и наноиндустрии, не осталось свободным. 7–8 июня в московском "Экспоцентре" состоялась выставка и конференция SEMIEXPO Russia 2017, поддержанная Департаментом радиоэлектронной промышленности Министерства промышленности и торговли Российской Федерации.
DOI: 10.22184/1993-8578.2017.77.6.48.53
DOI: 10.22184/1993-8578.2017.77.6.48.53
В SEMIEXPO приняло участие более 90 компаний, представляющих все сегменты полупроводниковой промышленности и ряд смежных отраслей.
Один из центральных стендов экспозиции заняла немецкая инжиниринговая компания Deaxo, которая вышла на российский рынок сравнительно недавно – в 2015 году. Deaxo создает производства "под ключ" в микроэлектронике, фармацевтике и других высокотехнологичных отраслях. Компания выполняет проектирование, монтаж, пусконаладку, а также дальнейшую технологическую поддержку инженерных систем и подключение к ним технологического оборудования. В России Deaxo располагает офисами в Зеленограде и технопарке "iLand", в которых работает около 30 сотрудников. Уже реализовано несколько проектов, направленных на развитие отечественной электроники и фотоники, в частности, в число клиентов компании входят "Неофотоникс", "Крокус Наноэлектроника" и ИНМЭ РАН. По словам директора Рене Калмакоффа, особенностями бизнес-философии Deaxo являются минимизация затрат заказчика и его поддержка на протяжении всего цикла проекта. "Перед тем, как начать реализацию проекта, мы разрабатываем и предлагаем на рассмотрение клиенту план оптимизации, направленный на сокращение сроков и затрат, – отметил Р.Калмакофф. – Поддерживая заказчика в течение всего цикла проекта, мы не только обеспечиваем его высокую лояльность, но и приобретаем новый уникальный опыт, способствующий повышению качества нашей работы в будущем. В России перед нами открылась возможность реализации крупных, технологически сложных проектов, и это дополнительно мотивирует. Наши компетенции позволили реализовать в ИНМЭ РАН проект по принципу "фаст-трэк", когда чистые помещения со всей сопутствующей инженерной инфраструктурой для нового опытного производства были полностью построены и сданы в эксплуатацию в течение шести месяцев. Российские заказчики ценят тот факт, что мы неукоснительно выполняем свои обещания, и их отзывы о нашей работе – лучшая реклама для Deaxo".
Компания "МИНАТЕХ" представила технологическое и аналитическое оборудование для производства и исследований. Новым партнером "МИНАТЕХ" стала немецкая фирма SURAGUS, разрабатывающая бесконтактные метрологические решения на основе высокочастотного вихретокового контроля. По сравнению с традиционными контактными системами, технологии SURAGUS обеспечивают существенное повышение надежности и скорости измерений. В настоящее время предлагаются приборы для тестирования поверхностного сопротивления пленок и измерения толщины металлических слоев на различных материалах, включая металлические тонкие пленки (Al, Mo, Zn, Ag) и функциональные прозрачные слои на стекле и фольге. Созданы решения для измерений как в одной точке, так и по всей поверхности образца, в том числе в режиме поточного производства. По словам генерального директора "МИНАТЕХ" Сергея Вержбицкого, оборудование SURAGUS успешно применяется как в производстве и исследовании полупроводниковых компонентов, так и в фотовольтаике и фотонике, например, в изготовлении "умных стекол" разных типов.
Еще одна инновационная разработка, которая доступна российским заказчикам благодаря "МИНАТЕХ" – усовершенствованная установка лазерной безмасковой литографии DWL 66+ немецкой компании Heidelberg Instruments Mikrotechnik. Благодаря опции экспонирования с высоким разрешением HiRes, впервые в лазерной литографии появилась возможность получать элементы с минимальным топологическим размером 300 нм. Кроме того, существенно повышена скорость некоторых рабочих режимов и стало возможным устанавливать на систему до двух кассетных станций.
Компания Maicom Quarz, специализирующаяся на инжиниринге высокотехнологичных проектов и поставке оборудования, представила на выставке своего нового партнера – фирму Hдcker Automation (Германия), которая производит системы для сборки электронных компонентов. Отличительной особенностью оборудования Hдcker Automation является модульный принцип построения, что позволяет исключительно гибко конфигурировать системы в соответствии с задачами пользователя. Линейка решений включает в том числе модули для 3D-микросборки.
Компания "ЗЭНКО ПЛАЗМА" акцентировала внимание посетителей на новой разработке компании Plasma-Therm – установке Odyssey HDRF, которая предназначена для удаления фоторезиста, удаления полимеров после реактивного ионного травления, очистки и сглаживания боковых стенок канавок после Bosch-процесса, очистки сложных 3D-структур от органики. Запатентованная технология HDRF (High Density Radical Flux) полностью исключает ионную составляющую процесса травления. Odyssey HDRF обеспечивает высокую гладкость рельефа и высокоточное формирование элементов с высоким аспектным соотношением. Машина поставляется с ручной или автоматической загрузкой пластин диаметром до 200 мм.
Уникальной и, возможно, революционной разработкой Plasma-Therm является применение плазменного травления для разделения кристаллов, которая стала хорошей альтернативой механическим и лазерным технологиям. Установка Plasma-Therm MicroDieSingulator позволяет с высокой скоростью и точностью разделять кристаллы разных размеров и разной формы, снижая расходы на материалы, что особенно эффективно при изготовлении малых серий приборов.
Чешская фирма SVCS, производитель печей для полупроводниковой промышленности и фотовольтаики, а также разработчик систем подачи высокочистых газов, анонсировала совместный проект с корейской компанией ISAC Research в области создания систем атомно-слоевого осаждения.
На стенде компании "ГУРВИН" демонстрировались микроскопы Carl Zeiss. Специалисты российской компании отметили хорошие перспективы расширения применения в отечественной микроэлектронике оптических и электронных микроскопов знаменитой немецкой марки. Важные предпосылки для этого – высокое качество и широкая номенклатура приборов Carl Zeiss, а также готовность компании и ее российских представителей предлагать нестандартные решения. Из представленного на выставке оборудования большой интерес представляет, в частности, конфокальный сканирующий микроскоп ZEISS Smartproof 5 со светодиодным источником излучения, который обеспечивает пространственное разрешение 130 нм. Замена лазера на светодиод обеспечила существенное снижение цены прибора.
На стенде компании "ЭЛИНТ СП" была представлена информация об оборудовании для литографии ASML, лидере в данном сегменте рынка, системах плазменного травления и очистки LAM Research, расходных материалах для литографии KMG Ultra Pure Chemicals, применяемых Intel и другими ведущими производителями электронных компонентов (в числе российских пользователей – "Микрон" и "Ангстрем-Т"), печах Tempress, которые широко используются в изготовлении решений для фотовольтаики.
Зеленоградская НПК "СИСТЕМА" продемонстрировала на своем стенде оборудование для лазерной литографии Dilase и светодиодные УФ-экспонирующие установки UV-Kub производства французской компании Kloe. Системы Dilase особенно эффективны при мелкосерийном производстве. Они находят применение в различных областях, в частности, в производстве устройств для микрофлюидики. Установки UV-Kub характеризуются высокой коллимацией светового потока, благодаря чему минимизируются искажения при экспонировании. Помимо оборудования, фирма Kloe разрабатывает собственные фоторезисты, в том числе биосовместимые.
Компания Advanced Epi (Великобритания) представила уникальную технологию выращивания карбида кремния на кремниевой подложке. Достоинства карбида кремния хорошо известны: широкая зона проводимости, стойкость к высоким температурам, радиации и химическим веществам, а также биологическая инертность. Этот материал применяется в производстве силовой электроники, оптоэлектроники, датчиков, имеет хорошие перспективы в медицине. Однако его использование во многом затруднялось невозможностью применения традиционных технологий эпитаксии для выращивания слоя карбида кремния на кремниевой пластине из-за деформации последней. Специалисты Advanced Epi разработали эффективное решение данной проблемы. Уже доступны для заказа пластины диаметром 100 и 150 мм, в планах компании – освоение производства пластин больших размеров.
Компания S3 Alliance представила метрологическое оборудование Microsense и Acoulab для контроля геометрических параметров пластин, а также технологическое оборудование Axus Technology (восстановленные установки для механической обработки), GNP Technology (машины для механической обработки), Trion Technology (плазменное травление и осаждение), Tango Systems (вакуумное напыление) и др. По словам Олега Вышкваркова, генерального директора российского представительства компании, каталог предлагаемой российским заказчикам продукции включает около 300 позиций.
Компания "Химмед" представила фоторезисты, полирующие суспензии, высокочистые химикаты и другие расходные материалы для микроэлектроники производства Entegris, Brewer science, BASF, Henkel и др. "Химмед" сотрудничает с заводами "Микрон", "Крокус наноэлектроника" и другими предприятиями российской радиоэлектроники. Среди тенденций российского рынка специалисты компании отметили рост интереса к материалам для полупроводниковых производств и наноиндустрии из Восточной Азии, в частности, из Южной Кореи и Китая. Это обусловлено, с одной стороны, санкционным давлением со стороны США и ЕС на российские предприятия, с другой стороны – развитием технологий в Восточной Азии, в результате чего качество корейских и китайских материалов достигло мирового уровня при сохранении более выгодных цен по сравнению с продукцией европейских и североамериканских компаний.
Зеленоградский НПК "Технологический центр" продемонстрировал на выставке широкую номенклатуру датчиков физических величин и чувствительных элементов, в частности, матрицу интегральных преобразователей давления, цифровую линейку детектора рентгеновского излучения, трехкоординатный магниторезистивный датчик, приемо-передающий модуль на диапазоны частот 130, 435 и 920 МГц, линейку тензомодулей давления, включающую преобразователи абсолютного, избыточного и дифференциального давлений, микросистему анализа слабых магнитных полей на базе кристалла с магниторезистивным чувствительным элементом, который монтируется в немагнитный металлокерамический корпус. Также "Технологический центр" представил серии базовых матричных кристаллов, в том числе 5529ТН, изготовленную по КМОП-технологии 0,25 мкм на структурах "кремний на изоляторе", и 5521 с технологическими нормами 0,18 мкм на объемном кремнии с кольцевыми транзисторами. ■
Один из центральных стендов экспозиции заняла немецкая инжиниринговая компания Deaxo, которая вышла на российский рынок сравнительно недавно – в 2015 году. Deaxo создает производства "под ключ" в микроэлектронике, фармацевтике и других высокотехнологичных отраслях. Компания выполняет проектирование, монтаж, пусконаладку, а также дальнейшую технологическую поддержку инженерных систем и подключение к ним технологического оборудования. В России Deaxo располагает офисами в Зеленограде и технопарке "iLand", в которых работает около 30 сотрудников. Уже реализовано несколько проектов, направленных на развитие отечественной электроники и фотоники, в частности, в число клиентов компании входят "Неофотоникс", "Крокус Наноэлектроника" и ИНМЭ РАН. По словам директора Рене Калмакоффа, особенностями бизнес-философии Deaxo являются минимизация затрат заказчика и его поддержка на протяжении всего цикла проекта. "Перед тем, как начать реализацию проекта, мы разрабатываем и предлагаем на рассмотрение клиенту план оптимизации, направленный на сокращение сроков и затрат, – отметил Р.Калмакофф. – Поддерживая заказчика в течение всего цикла проекта, мы не только обеспечиваем его высокую лояльность, но и приобретаем новый уникальный опыт, способствующий повышению качества нашей работы в будущем. В России перед нами открылась возможность реализации крупных, технологически сложных проектов, и это дополнительно мотивирует. Наши компетенции позволили реализовать в ИНМЭ РАН проект по принципу "фаст-трэк", когда чистые помещения со всей сопутствующей инженерной инфраструктурой для нового опытного производства были полностью построены и сданы в эксплуатацию в течение шести месяцев. Российские заказчики ценят тот факт, что мы неукоснительно выполняем свои обещания, и их отзывы о нашей работе – лучшая реклама для Deaxo".
Компания "МИНАТЕХ" представила технологическое и аналитическое оборудование для производства и исследований. Новым партнером "МИНАТЕХ" стала немецкая фирма SURAGUS, разрабатывающая бесконтактные метрологические решения на основе высокочастотного вихретокового контроля. По сравнению с традиционными контактными системами, технологии SURAGUS обеспечивают существенное повышение надежности и скорости измерений. В настоящее время предлагаются приборы для тестирования поверхностного сопротивления пленок и измерения толщины металлических слоев на различных материалах, включая металлические тонкие пленки (Al, Mo, Zn, Ag) и функциональные прозрачные слои на стекле и фольге. Созданы решения для измерений как в одной точке, так и по всей поверхности образца, в том числе в режиме поточного производства. По словам генерального директора "МИНАТЕХ" Сергея Вержбицкого, оборудование SURAGUS успешно применяется как в производстве и исследовании полупроводниковых компонентов, так и в фотовольтаике и фотонике, например, в изготовлении "умных стекол" разных типов.
Еще одна инновационная разработка, которая доступна российским заказчикам благодаря "МИНАТЕХ" – усовершенствованная установка лазерной безмасковой литографии DWL 66+ немецкой компании Heidelberg Instruments Mikrotechnik. Благодаря опции экспонирования с высоким разрешением HiRes, впервые в лазерной литографии появилась возможность получать элементы с минимальным топологическим размером 300 нм. Кроме того, существенно повышена скорость некоторых рабочих режимов и стало возможным устанавливать на систему до двух кассетных станций.
Компания Maicom Quarz, специализирующаяся на инжиниринге высокотехнологичных проектов и поставке оборудования, представила на выставке своего нового партнера – фирму Hдcker Automation (Германия), которая производит системы для сборки электронных компонентов. Отличительной особенностью оборудования Hдcker Automation является модульный принцип построения, что позволяет исключительно гибко конфигурировать системы в соответствии с задачами пользователя. Линейка решений включает в том числе модули для 3D-микросборки.
Компания "ЗЭНКО ПЛАЗМА" акцентировала внимание посетителей на новой разработке компании Plasma-Therm – установке Odyssey HDRF, которая предназначена для удаления фоторезиста, удаления полимеров после реактивного ионного травления, очистки и сглаживания боковых стенок канавок после Bosch-процесса, очистки сложных 3D-структур от органики. Запатентованная технология HDRF (High Density Radical Flux) полностью исключает ионную составляющую процесса травления. Odyssey HDRF обеспечивает высокую гладкость рельефа и высокоточное формирование элементов с высоким аспектным соотношением. Машина поставляется с ручной или автоматической загрузкой пластин диаметром до 200 мм.
Уникальной и, возможно, революционной разработкой Plasma-Therm является применение плазменного травления для разделения кристаллов, которая стала хорошей альтернативой механическим и лазерным технологиям. Установка Plasma-Therm MicroDieSingulator позволяет с высокой скоростью и точностью разделять кристаллы разных размеров и разной формы, снижая расходы на материалы, что особенно эффективно при изготовлении малых серий приборов.
Чешская фирма SVCS, производитель печей для полупроводниковой промышленности и фотовольтаики, а также разработчик систем подачи высокочистых газов, анонсировала совместный проект с корейской компанией ISAC Research в области создания систем атомно-слоевого осаждения.
На стенде компании "ГУРВИН" демонстрировались микроскопы Carl Zeiss. Специалисты российской компании отметили хорошие перспективы расширения применения в отечественной микроэлектронике оптических и электронных микроскопов знаменитой немецкой марки. Важные предпосылки для этого – высокое качество и широкая номенклатура приборов Carl Zeiss, а также готовность компании и ее российских представителей предлагать нестандартные решения. Из представленного на выставке оборудования большой интерес представляет, в частности, конфокальный сканирующий микроскоп ZEISS Smartproof 5 со светодиодным источником излучения, который обеспечивает пространственное разрешение 130 нм. Замена лазера на светодиод обеспечила существенное снижение цены прибора.
На стенде компании "ЭЛИНТ СП" была представлена информация об оборудовании для литографии ASML, лидере в данном сегменте рынка, системах плазменного травления и очистки LAM Research, расходных материалах для литографии KMG Ultra Pure Chemicals, применяемых Intel и другими ведущими производителями электронных компонентов (в числе российских пользователей – "Микрон" и "Ангстрем-Т"), печах Tempress, которые широко используются в изготовлении решений для фотовольтаики.
Зеленоградская НПК "СИСТЕМА" продемонстрировала на своем стенде оборудование для лазерной литографии Dilase и светодиодные УФ-экспонирующие установки UV-Kub производства французской компании Kloe. Системы Dilase особенно эффективны при мелкосерийном производстве. Они находят применение в различных областях, в частности, в производстве устройств для микрофлюидики. Установки UV-Kub характеризуются высокой коллимацией светового потока, благодаря чему минимизируются искажения при экспонировании. Помимо оборудования, фирма Kloe разрабатывает собственные фоторезисты, в том числе биосовместимые.
Компания Advanced Epi (Великобритания) представила уникальную технологию выращивания карбида кремния на кремниевой подложке. Достоинства карбида кремния хорошо известны: широкая зона проводимости, стойкость к высоким температурам, радиации и химическим веществам, а также биологическая инертность. Этот материал применяется в производстве силовой электроники, оптоэлектроники, датчиков, имеет хорошие перспективы в медицине. Однако его использование во многом затруднялось невозможностью применения традиционных технологий эпитаксии для выращивания слоя карбида кремния на кремниевой пластине из-за деформации последней. Специалисты Advanced Epi разработали эффективное решение данной проблемы. Уже доступны для заказа пластины диаметром 100 и 150 мм, в планах компании – освоение производства пластин больших размеров.
Компания S3 Alliance представила метрологическое оборудование Microsense и Acoulab для контроля геометрических параметров пластин, а также технологическое оборудование Axus Technology (восстановленные установки для механической обработки), GNP Technology (машины для механической обработки), Trion Technology (плазменное травление и осаждение), Tango Systems (вакуумное напыление) и др. По словам Олега Вышкваркова, генерального директора российского представительства компании, каталог предлагаемой российским заказчикам продукции включает около 300 позиций.
Компания "Химмед" представила фоторезисты, полирующие суспензии, высокочистые химикаты и другие расходные материалы для микроэлектроники производства Entegris, Brewer science, BASF, Henkel и др. "Химмед" сотрудничает с заводами "Микрон", "Крокус наноэлектроника" и другими предприятиями российской радиоэлектроники. Среди тенденций российского рынка специалисты компании отметили рост интереса к материалам для полупроводниковых производств и наноиндустрии из Восточной Азии, в частности, из Южной Кореи и Китая. Это обусловлено, с одной стороны, санкционным давлением со стороны США и ЕС на российские предприятия, с другой стороны – развитием технологий в Восточной Азии, в результате чего качество корейских и китайских материалов достигло мирового уровня при сохранении более выгодных цен по сравнению с продукцией европейских и североамериканских компаний.
Зеленоградский НПК "Технологический центр" продемонстрировал на выставке широкую номенклатуру датчиков физических величин и чувствительных элементов, в частности, матрицу интегральных преобразователей давления, цифровую линейку детектора рентгеновского излучения, трехкоординатный магниторезистивный датчик, приемо-передающий модуль на диапазоны частот 130, 435 и 920 МГц, линейку тензомодулей давления, включающую преобразователи абсолютного, избыточного и дифференциального давлений, микросистему анализа слабых магнитных полей на базе кристалла с магниторезистивным чувствительным элементом, который монтируется в немагнитный металлокерамический корпус. Также "Технологический центр" представил серии базовых матричных кристаллов, в том числе 5529ТН, изготовленную по КМОП-технологии 0,25 мкм на структурах "кремний на изоляторе", и 5521 с технологическими нормами 0,18 мкм на объемном кремнии с кольцевыми транзисторами. ■
Отзывы читателей
