DOI: 10.22184/NanoRus.2019.12.89.192.193

Фоторезист ФН-16У — новый материал для создания металлических контактов и токопроводящих дорожек в полупроводниковых приборах и устройствах методом «взрывной» фотолитографии.

sitemap

Разработка: студия Green Art