Наноиндустрия - научно-технический журнал - Материалы тега

главная

eng

Вход

Архив журнала

Журналы

Медиаданные

Редакционная политика

Авторам

Контакты

© 2001-2026
РИЦ Техносфера
Все права защищены
Тел. +7 (495) 234-0110
Оферта

R&W

ISSN 1993-8578
ISSN 2687-0282 (online)

Книги по нанотехнологиям

Тег "lithography"

Наноиндустрия #2/2020
И.В.Яминский, А.И.Ахметова, Г.Б.Мешков
Сканирующая зондовая микроскопия дихалькогенидов переходных металлов

DOI: 10.22184/1993-8578.2020.13.2.132.134 С помощью зондовой микроскопии проводились измерения перспективных материалов. Простота метода позволяет узнать морфологию и структуру поверхности, проводимость, исследовать свойства материала при нагреве.

Наноиндустрия #1/2020
И.В.Яминский, А.И.Ахметова, Г.Б.Мешков
Применение сканирующей зондовой и капиллярной микроскопии в международном сотрудничестве

DOI: 10.22184/1993-8578.2020.13.1.16.20 Научное сотрудничество групп зондовой микроскопии МГУ имени М.В.Ломоносова и Технологического университета имени Шарифа (Тегеран) в рамках российско-иранского проекта оказалось крайне плодотворным. За три года проекта получены оригинальные результаты по локальной модификации поверхности в тонких пленках благодаря использованию сканирующей капиллярной микроскопии. Разработана установка комбинированной зондовой и капиллярной микроскопии.

Электроника НТБ #5/2018
М. Макушин, В. Мартынов
EUV-литография на пороге. Технологические и зкономические аспекты освоения в производстве

Рассматриваются возможности и проблемы внедрения EUV-литографии (литография в предельной УФ-области спектра) в серийное производство ИС. УДК 621.37 | ВАК 05.27.06 DOI: 10.22184/1992-4178.2018.176.5.108.116

Электроника НТБ #3/2018
В. Плебанович, С. Аваков, В. Карлов
Динамичное изменение топологии микросхем – преимущество мультифотонаборного степпера

Мультифотонаборный степпер ЭМ-5784 производства ОАО «КБТЭМ-ОМО» (г. Минск, Республика Беларусь) предлагается использовать для изготовления специальных схем с уникальным кодом. УДК 621.382.002 | ВАК 05.27.06 DOI: 10.22184/1992-4178.2018.174.3.106.110

Электроника НТБ #3/2017
М.Макушин, В.Мартынов
Микроэлектроника на современном этапе: тенденции развития и прогнозы по материалам международных форумов. Часть 2

Большое внимание на конференциях было уделено вопросам применения кремния на технологическом уровне менее 11/9 нм, использованию новых приборных структур (FinFET, FD-SOI) и приборов (STT-MRAM), EUV-литографии и перспективным материалам. DOI: 10.22184/1992-4178.2017.163.3.138.145 УДК 621.382 ВАК 05.27.00

Наноиндустрия #3/2012
А.Филонов, С.Савинов, О.Синицына, Г.Мешков, И.Яминский
ФемтоСкан Х – новый сканирующий зондовый микроскоп

Сканирующая зондовая микроскопия позволяет изучать структуру и свойства объектов на атомном и молекулярном уровнях. Инновационная компания Центр перспективных технологий разработала новый сканирующий зондовый микроскоп, ориентированный на биологические исследования. Отличительными качествами этого микроскопа являются высокоскоростная электроника, свободный доступ в область образца, удобство использования и возможность управления через Интернет.