Наноиндустрия #6/2016
А.Потемкин
Обеспечение метрологической ответственности измерения перемещения в нанометровом диапазоне
Измерительный метрологический набор на основе динамической меры – технологически сложный и наукоемкий продукт, многократно превосходящий решения на основе пьезокерамики. Динамические калибры позволяют обеспечить опережающее развитие метрологии по сравнению с разрабатываемыми нанотехнологиями. DOI:10.22184/1993-8578.2016.68.6.60.68
Наноиндустрия #8/2012
С.Голубев, В.Захарьин, Г.Мешков, Ю.Токунов, Д.Яминский, И.Яминский
Калибровка зондовых микроскопов. Динамическая мера "нанометр"
Динамическая мера "нанометр" – удобное средство измерений. Она позволяет осуществить калибровку СЗМ до начала и в процессе измерений. Предложены методика калибровки СЗМ и алгоритм статистической обработки данных.