Электроника НТБ #9/2014
Р.Лапшин, П.Азанов
НАНОЧАСТИЦЫ НИКЕЛЯ СНИЖАЮТ ТЕМПЕРАТУРУ СИНТЕЗА УГЛЕРОДНЫХ СТРУКТУР Предложен метод осаждения каталитических наночастиц (КНЧ) никеля на поверхность гладкой подложки. Осаждение КНЧ производится в аргоновой плазме тлеющего разряда. КНЧ предназначены для синтеза углеродных наноструктур (УНС) методом плазмо-стимулированного химического осаждения из газовой фазы (ПСХОГФ). Благодаря высокой активности КНЧ температуру синтеза УНС удалось снизить с 750 до 150°C. Предложен путь, улучшающий управление размерами, формой и плотностью рассеяния по поверхности формируемых КНЧ. Электроника НТБ #9/2014
Р.Лапшин
ОСОБЕННОСТЬ-ОРИЕНТИРОВАННАЯ СКАНИРУЮЩАЯ ЗОНДОВАЯ МИКРОСКОПИЯ: ПРЕЦИЗИОННЫЕ ИЗМЕРЕНИЯ, НАНОМЕТРОЛОГИЯ, НАНОТЕХНОЛОГИИ "СНИЗУ-ВВЕРХ" Дается краткое описание группы методов, лежащих в основе особенность-ориентированной сканирующей зондовой микроскопии (ООСЗМ) – нового подхода в сканирующей зондовой микроскопии, при котором измеряемая или модифицируемая поверхность представлена не “мертвым” массивом точек скана, а совокупностью особенностей, каждая из которых характеризуется своим собственным набором признаков. Работа с особенностями поверхности позволяет при комнатной температуре не только существенно увеличить точность измерения топографии поверхности и заметно улучшить разрешение зондового микроскопа, но и в перспективе реализовать автономно работающее многозондовое нанопроизводство “снизу-вверх”. Электроника НТБ #9/2014
В.Быков, К.Борисов, Ал.Быков, Ан.Быков, В.Котов, В.Поляков, В.Шиллер
ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ КОМПЛЕКСЫ НАНОЭЛЕКТРОНИКИ С ИСПОЛЬЗОВАНИЕМ СИСТЕМ БЕСШАБЛОННОЙ ЛИТОГРАФИИ В статье изложен подход к созданию кластерных комплексов замкнутого цикла для разработки и мелкосерийного производства БИС- и СБИС-базы микро- и наноэлектроники с помощью систем бесшаблонной высокопроизводительной многолучевой электронной литографии и технологических комплексов сухой финишной очистки и планаризации с использованием ускоренных больших Ван-дер-Ваальсовых кластеров. "Гибкость" и адаптивность технологической линии под заданный тип технологического процесса обусловлены модульной конструкцией линии, объединенной единой сверхвысоковакуумной транспортной системой. Кроме технологических кластеров, технологическая линия может содержать метрологические и аналитические модули, модули коррекции топологии, обеспечивая разработки и малосерийное производство элементной базы наноэлектроники технологического уровня 22–14 нм. Наноиндустрия #4/2015
А.Большакова, И.Яминский
Конкурсы ЦМИТ "Нанотехнологии": награждение победителей Центр молодежного инновационного творчества "Нанотехнологии" подвел итоги своих первых конкурсов. Весной 2015 года произошло торжественное награждение победителей конкурсов: "Мой первый завод" и "Конструируем биосенсоры". DOI:10.22184/1993-8578.2015.58.4.94.96 Наноиндустрия #1/2015
B.Pavlov
Нанотехнологический кластер по органической электронике и фотонике – важнейший тренд развития отечественной наноиндустрии Органическая электроника и фотоника должны стать экономически эффективным сектором производства, создающим новые рабочие места, который будет важен, в том числе, с точки зрения национальной безопасности и обеспечения устойчивого роста российской экономики. DOI:10.22184/1993-8578.2015.55.1.40.48 Наноиндустрия #1/2015
Я.Станишевский
НОЦ "Нанотехнологии" РУДН: научные и образовательные проекты международного уровня В 2007 году в Российском университете дружбы народов был создан научно-образовательный центр по направлению "Нанотехнологии". Центр реализует образовательные и исследовательские программы в различных областях нанотехнологий. DOI:10.22184/1993-8578.2015.55.1.6.13 Наноиндустрия #8/2014
А.Федосеев, И.Яминский
Неделя инноваций в Москве: II Всероссийская конференция ЦМИТ "Коммерциализация креативности" и открытие ЦМИТ "Нанотехнологии" Открытие Центра молодежного инновационного творчества (ЦМИТ) "Нанотехнологии" и II Всероссийская конференция ЦМИТ "Коммерциализация креативности" стали значимыми событиями, направленными на создание в столице творческой атмосферы и инфраструктуры для развития инноваций и научно-технического прогресса. Наноиндустрия #7/2014
О.Дьяченко
Венчурное финансирование промышленных инноваций на практике УК "Сберинвест" управляет шестью региональными венчурными фондами, а также отраслевым фондом внедрения нанотехнологий в металлургической промышленности "Наномет" и двумя фондами недвижимости. Кроме того, под управлением дочерней компании находится Международный венчурный фонд развития новых технологий в энергетической отрасли РФ Nanoenergo Fund. В отличие от большинства других венчурных инвесторов, "Сберинвест" делает акцент на финансирование развития промышленных технологий. Наноиндустрия #6/2014
Д.Гудилин
Электроника, вакуумная техника и наноинженерия В 2014 году исполнилось 75 лет первым в нашей стране разработкам оборудования для производства электровакуумных приборов, которые были выполнены студентами МГТУ им. Н.Э. Баумана. С тех времен и до сегодняшних дней выпускники одного из ведущих отечественных технических вузов неизменно играют важнейшую роль в развитии электроники, а также вакуумной техники. Наноиндустрия #2/2014
Д.Гудилин
Синтез образования, науки и производства: практический опыт Уже более десяти лет в Московском государственном университете им. М.В.Ломоносова работает лаборатория сканирующей зондовой микроскопии, в которой проходят обучение студенты, ведут исследования аспиранты и сотрудники физического, химического, биологического и других факультетов университета. Основной инструмент – многофункциональные сканирующие зондовые микроскопы "ФемтоСкан" производства компании "Центр перспективных технологий".