Наноиндустрия #5/2024
С.А.Жукова, Д.Ю.Обижаев, С.А.Ульянов, М.А.Зиновьев, Д.Д.Рискин, С.Ю.Суздальцев, Е.Н.Фролов, Ю.А.Ганцева
СОЗДАНИЕ МИКРОМЕХАНИЧЕСКИХ ДАТЧИКОВ ЛИНЕЙНЫХ УСКОРЕНИЙ И ОРГАНИЗАЦИЯ ИХ СЕРИЙНОГО ПРОИЗВОДСТВА DOI: https://doi.org/10.22184/1993-8578.2024.17.5.282.290 В ФГУП "ЦНИИХМ" создана линейка микромеханических датчиков линейных ускорений. В состав линейки входят датчики трех исполнений ММА-2, ММА-10 и ММА-30 с диапазонами преобразования ±20 м/с2, ±100 м/с2 и ±300 м/с2 соответственно. Датчики предназначены для использования в составе систем ориентации, стабилизации и навигации в составе различных изделий. Проведен полный комплекс испытаний, подтверждающий заявленные технические характеристики и стойкость к внешним воздействиям, а также утверждена рабочая конструкторская документация для организации серийного производства. Возможный объем производства датчиков составляет несколько тысяч штук в год. Электроника НТБ #6/2024
В. Кочемасов, Е. Торина, А. Сафин
МЭМС-ПЕРЕКЛЮЧАТЕЛИ ВЧ / СВЧ-СИГНАЛОВ. ЧАСТЬ 3 DOI: 10.22184/1992-4178.2024.237.6.88.97 Рассмотрены МЭМС-переключатели ВЧ / СВЧ-сигналов. Приведена информация об особенностях и характеристиках МЭМС-переключателей компании Menlo Micro. Электроника НТБ #5/2024
В. Кочемасов, Е. Торина, А. Сафин
МЭМС-ПЕРЕКЛЮЧАТЕЛИ ВЧ / СВЧ-СИГНАЛОВ. ЧАСТЬ 2 DOI: 10.22184/1992-4178.2024.236.5.86.96 Рассмотрены МЭМС-переключатели ВЧ/СВЧ-сигналов. Приведена информация об особенностях и характеристиках МЭМС-переключателей компании Analog Devices. Электроника НТБ #4/2024
В. Кочемасов, Е. Торина, А. Сафин
МЭМС-ПЕРЕКЛЮЧАТЕЛИ ВЧ / СВЧ-СИГНАЛОВ. ЧАСТЬ 1 DOI: 10.22184/1992-4178.2024.235.4.76.84 Рассмотрены МЭМС-переключатели ВЧ / СВЧ-сигналов. Приведена информация об особенностях и характеристиках различных типов таких устройств, выпускаемых рядом производителей. Электроника НТБ #2/2022
А. Бойко, Д. Гаев, С. Тимошенков
КОРПУСИРОВАНИЕ МЭМС: ПРОБЛЕМЫ И РЕШЕНИЯ DOI: 10.22184/1992-4178.2022.213.2.88.92 Одним из наиболее сложных этапов производства микроэлектромеханических систем (МЭМС) является корпусирование, которое до сих пор остается «бутылочным горлышком» при решении задачи массового выпуска изделий. В настоящей работе внимание сфокусировано на проблеме вакуумной герметизации в технологии корпусирования МЭМС и способах ее решения. Наноиндустрия #6/2021
А.Быкова, И.Род, К.Битаров, А.Казачков, Я.Минаева, К.Ракетов, В.Трушин, А.Фролова, Д.Подгорный, Д.Шамирян
Методика удаления кремниевых поверхностных микродефектов лазерной абляцией DOI: 10.22184/1993-8578.2021.14.6.342.349 Одним из ограничивающих факторов непрерывного повышения доли выхода годных микроразмерных изделий на МЭМС-производствах является ненулевой средний уровень плотности загрязнений производственных инфраструктур. Этот фактор влияет на появление поверхностных дефектов в конечных изделиях, которые могут нарушать функциональность сенсора, датчика. В работе предлагается метод постобработки готовых чувствительных элементов по удалению кремниевых дефектов без нарушения целостности изделия для перевода бракованного изделия в класс годных. Апробация предложенного метода на МЭМС-производстве ООО "МАППЕР" показала, что результативность метода удаления дефектов прецизионным лазерным испарением материала достигает 77% для партии обработанных элементов. Показатель результативности может быть увеличен за счет дальнейшей автоматизации процессов. Электроника НТБ #3/2021
А. Соловьев, С. Курдюков
СОВРЕМЕННЫЕ РЕШЕНИЯ ДЛЯ МОДЕЛИРОВАНИЯ И ПРОЕКТИРОВАНИЯ МЭМС В СРЕДЕ CoventorMP DOI: 10.22184/1992-4178.2021.204.3.66.71 Специализированная платформа разработки CoventorMP позволяет эффективно проектировать, оптимизировать и интегрировать МЭМС-устройства. В статье рассмотрен основной функционал, возможности системы, а также особенности инструментов MEMS+ и CoventorWare, входящих в состав CoventorMP. Наноиндустрия #5/2020
М.Д.Андреев, В.А.Ковалев, В.В.Амеличев, С.С.Генералов, А.В.Николаева, С.А.Поломошнов, А.М.Гаськов, В.В.Кривецкий
Синтез ультрадисперсного диоксида олова распылительным пиролизом в пламени для струйной печати чувствительных элементов полупроводниковых газовых сенсоров DOI: 10.22184/1993-8578.2020.13.5.276.283 Методом струйной печати из устойчивых суспензий на поверхности МЭМС-структур с микронагревателем сформированы толстопленочные слои на основе нанокристаллического SnO2 с равномерной пористой структурой. Описаны параметры газовой чувствительности полученных материалов. Наноиндустрия #2/2019
А.Н.Алёшин
Семинар компании Eurointech собирает ведущих производителей и дистрибьюторов высокотехнологического оборудования Ежегодно компания Евроинтех проводит семинары для сотрудников российских предприятий, желающих получить информацию о современных технологиях, а также представителей компаний – производителей высокотехнологического оборудования. Компания Евроинтех известна в России как поставщик технологического оборудования для производства электроники и микроэлектроники, оборудования СВЧ и ПО для проектирования и создания печатных плат и электронных устройств, включая МЭМС. Евроинтех презентует свои решения, описывает их преимущества по сравнению с конкурирующими производителями, представляет планы и перспективы развития. DOI: 10.22184/1993-8578.2019.12.2.114.121 Наноиндустрия #9/2018
Вертянов Денис Васильевич, Бураков Михаил Михайлович, Кручинин Сергей Михайлович, Сидоренко Виталий Николаевич, Брыкин Арсений Валерьевич
Трехмерная микросборка на основе коммутационных плат из кремния и бескорпусных элементов МЭМС В статье представлена концепция технологии трехмерной микросборки на основе коммутационных плат из кремния. Описаны преимущества применения данной технологии для производства малогабаритных изделий микросистемной техники на основе бескорпусных элементов МЭМС. Представлены результаты исследований процессов формирования сквозных металлизированных отверстий в коммутационных платах из кремния. Рассмотрены конструкции отечественных акселерометров, разработанных по технологии трехмерной микросборки. УДК 621.3.049.76 DOI: 10.22184/1993-8578.2018.82.521.531