eng
Вакуумная, криогенная техника и нанотехнология определяют современное состояние высоких технологий. В статье рассматриваются направления деятельности Международного союза вакуумной науки, техники, их прикладного использования, Американского и Российского вакуумных обществ.
Теги: cryogenic technology development prospects equipment and technology nanotechnology vacuum science вакуумная наука криогенная техника нанотехнология тенденции развития техника и технологии
Мировая вакуумная техника
Координацию и проведение прикладных исследований в ряде направлений вакуумной техники осуществляет IUVSTA: вакуумные наука и технология, исследования и инженерия поверхности, наноразмерные структуры и формирование тонких пленок, синтез электронных материалов и их обработка, создание и изучение плазмы. Значительный интерес представляет активность созданного в 1953 году Американского вакуумного общества, в которое входит около 4500 членов со всего мира. AVS издает журнал по исследованию вакуума и технологии (Journal of Vacuum Science and Technology).
Подразделения общества разрабатывают и проводят широкий спектр работ в следующих направлениях: прикладные исследования и создание различных поверхностей, интерфейсы из биоматериалов, современные электронные материалы и технологии их изготовления, магнитные интерфейсы и наноструктуры. Ведутся работы в области наномасштабной науки и техники, исследования плазмы и создание технологий в данной сфере. Значительное внимание уделяется совместным работам с IUVSTA. На рис.1 приведены области применения современной вакуумной техники, диапазоны рабочих давлений и соответствующие режимы течения газа [1–7].
Важно отметить, что в связи с решаемыми задачами потребители уделяют серьезное внимание характеристикам используемого вакуумного оборудования (рис.2). Прежде всего – это его надежность (стойкость к негативным воздействиям), невмешательство в максимальной степени в технологический процесс (отсутствие примесей, вибрации, других воздействий), универсальность систем, автоматизация, мониторинг работы и контроль, соблюдение высоких экологических и эргономических требований.
В этой связи в мире ведутся интенсивные работы по развитию технологий вакуумных насосов. Создаются специальные изделия для сложных условий, инновационные решения для высоковакуумных приложений, не требующих форвакуумной откачки, промышленные стойкие к агрессивным воздействиям экологичные безмасляные системы.
К основным безмасляным механическим форвакуумным средствам откачки относятся кулачково-зубчатые насосы. К числу безмасляных высоковакуумных можно отнести турбомолекулярные насосы с магнитным подвесом ротора и производительностью 300–4500 л/с; турбомолекулярные насосы на керамических необслуживаемых подшипниках производительностью 30–6000 л/с; криовакуумные насосы с быстротой действия от 350 до 56000 л/с (рис.3).
К числу глобальных тенденций развития вакуумного оборудования следует отнести унификацию, стандартизацию и универсализацию вакуумных систем, увеличение их производительности и обеспечение заданных характеристик вакуума, создание и развитие новых технологий и средств откачки, разработку изделий, позволяющих вести откачку в различных режимах течения газа. Актуальная проблема – проектирование современных вакуумных систем (подбор элементов, компоновка, определение рабочих режимов, возможности расширения этих систем) и их модернизация.
Нельзя оставить в стороне и современные тенденции в развитии аналитического оборудования для исследования вакуума. Прежде всего это вакуумметрия, развитие универсальных широкодиапазонных датчиков на давления от 1000 до 10-9 мбар и высокоточных решений (емкостные датчики на давления от 10000 до10-6 мбар), автоматизация мониторинга давления и контроля процессов, определение течей и снижение массогабаритных характеристик традиционных гелиевых масс-спектрометрических течеискателей, решения для поиска течей специальных газов – водорода, фреона, упрощение такого оборудования.
Структура и объемы рынка
вакуумного оборудования
В целом наблюдается устойчивое увеличение общего объема рынка вакуумного оборудования, в первую очередь, за счет высокотехнологичных приложений; усиливается сегментация производителей по типам создаваемого оборудования; интенсифицируется развитие вторичного рынка вакуумных систем. Важно отметить, что производители стремятся разрабатывать не отдельные компоненты, а завершенные технологические комплексы (рис.4).
Вакуумная техника в СССР. Немного истории
Развитие вакуумной техники в СССР в послевоенные годы определялось следующими направлениями: атомный проект, освоение космоса, электроника, электрофизическое аппаратостроение. В результате сложилась уникальная исследовательская, проектно-конструкторская и производственная база. Были решены серьезные метрологические задачи в этой области. Производство вакуумной техники было сосредоточено на нескольких специализированных заводах, что позволило обеспечить высокий уровень выпускаемого оборудования. Все эти шаги привели к формированию в стране уникальных научных школ в области исследования вакуума, которые успешно работают и в настоящее время.
Состояние отечественной
вакуумной техники
Прежде всего важно отметить, что работы ведутся в соответствии с планами созданного 20 лет назад Российского научно-технического вакуумного общества (РНТВО), в которое входит около 1500 членов [8]. Основные цели РНТВО:
объединение ученых и инженеров для наращивания интеллектуального потенциала страны, содействие научно-техническому прогрессу;
поддержка развития фундаментальных и прикладных исследований в областях науки, использующих вакуумную технику;
профессиональная консолидация, укрепление и развитие связей между специалистами, занимающимися изучением и прикладным использованием вакуума;
создание благоприятных условий для научного и технического творчества членов общества;
представление интересов, защита профессиональных, гражданских, социальных, авторских и иных прав членов общества;
помощь в разработке и реализации международных, национальных, региональных проектов и программ в науке и образовании;
развитие международного сотрудничества, расширение связей с инженерно-технической общественностью, представителями предпринимательских структур, содействие интеграции российских ученых и специалистов в мировое сообщество;
развитие расчетно-проектировочных приложений:
– анализ различных компонентов вакуумных систем, в первую очередь насосов, на этапе проектирования и/или их модернизации;
– комплексный расчет сложных вакуумных систем для технологического процесса и подбор необходимого оборудования (рис.5).
Регулярные российские
мероприятия в сфере
вакуумных исследований
Международная выставка "Вакуумная техника, материалы и технология", Международная выставочная компания (MVK) и ФГУП "НИИВТ им. С.А.Векшинского" (Москва). Девиз организаторов мероприятия: вакуумная техника, криогенная техника и нанотехнология – три кита, на которых держится мир высоких технологий [9]. Основные цели выставки – демонстрация достижений в вакуумной технике, материалах и технологиях; их продвижение на рынок; установление деловых контактов; привлечение инвестиций; содействие формированию и реализации национальных и региональных программ в данной области. Проведено семь выставок, в которых приняло участие более 120 фирм – производителей вакуумного оборудования, в том числе из Австрии, Беларуси, Великобритании, Германии, Израиля, Китая, Латвии, Лихтенштейна, Словакии, США, Украины, Франции, Швейцарии, Японии [10–14].
Международная научно-техническая конференция "Вакуумная техника, материалы и технология" (ФГУП "НИИВТ им. С.А.Векшинского"). Проведено семь конференций, на которых работали секции: вакуумная техника и аэрокосмический комплекс; вакуумные технологии и оборудование; формирование тонких пленок; методики исследования вакуума; технологическое оборудование; нано- и биотехнологии; криогенная и криовакуумная техника. Опубликовано более 250 докладов. Количество авторов превышает 400 человек.
Научно-техническая конференция "Ваку-умная наука и техника" (РНТВО, Гурзуф, Сочи, Судак). Прошло 19 конференций, на которых работали секции: физические явления и процессы в вакууме; расчет и моделирование вакуумных систем и технологических процессов; вакуумное оборудование; средства получения и измерения вакуума, течеискание; материалы, модификация и их синтез в вакууме; процессы в вакуумных электрофизических установках и приборах; эмиссионные процессы и источники заряженных частиц в приборах; вакуумные и нанотехнологии; биомедицинские технологии, оборудование, приборы; вакуумная механика и трибология; вакуумные технологии в космических исследованиях. Опубликовано около 2 тыс. докладов. Количество авторов – более 2 тыс. [15].
Научно-техническая конференция "Вакуумная техника и технология" (СПбГПУ, С.-Петербург). Прошло 15 конференций. Количество авторов – более 500.
Международная научно-техническая конференция "Высокие технологии в промышленности России" (МГТУ им. Н.Э.Баумана, ОАО ЦНИТИ "Техномаш"). Прошло 18 конференций.
Постоянно действующий научно-технический семинар "Электровакуумная техника и технология". Прошло 35 заседаний. Опубликовано четыре тома докладов. Количество авторов – более 200.
Студенческая научно-техническая конференция "Вакуумная техника и технология" (КНИТУ, Казань). Прошло пять конференций. Опубликовано 300 докладов студентов и молодых ученых, представлявших более 30 учебных заведений из 20 городов России [16].
Всероссийская молодежная научно-практическая конференция "Вакуумная, компрессорная техника и пневмоагрегаты" (МГТУ им. Н.Э.Баумана). Прошло четыре конференции.
С 1991 года издается входящий в перечень ВАК журнал "Вакуумная техника и технология". Основные разделы.
Физика вакуума.
Расчет вакуумных систем.
Измерения вакуума.
Течеискание.
Получение вакуума.
Проектирование вакуумных систем.
Производство электронных приборов.
Вакуумное напыление.
Имплантация.
Образование, конференции и семинары.
В журнале опубликовано более 800 статей, с ним сотрудничает свыше тысячи авторов.
В результате активности РНТВО создана национальная система непрерывной подготовки специалистов в области физики вакуума, вакуумной техники и технологии, опирающаяся на государственные образовательные стандарты. Она сочетает преимущества высшего образования, отраслевой и академической науки, производства. Обеспечивает непрерывность профессиональной подготовки специалистов, охватывает многие регионы страны. Система придает образованию инновационный характер, поддерживает преемственность поколений. Она ориентирована на высокие технологии (ядерная энергетика, космонавтика, наноматериалы, наноэлектроника), имеет развитую инфраструктуру, включающую музей, библиотеку, журнал. Всего за 2007–2012 годы по вакуумной науке, технике и технологии подготовлено и издано 24 учебника и учебных пособий, 15 монографий, 11 справочно-информационных изданий [17]. Это способствует обеспеченности слушателей учебной и научной литературой.
Проблемы отечественной
вакуумной техники
Важно отметить, что для прогресса в вакуумной технике необходима четко сформулированная стратегия. Целесообразно сформировать научный совет РАН для координации исследований в области вакуумной науки и практического использования их результатов. Для дальнейшего развития вакуумной техники очень важно преодолеть разрыв поколений. Представляется, что бюджетные деньги, затрачиваемые на импортное вакуумное оборудование, целесообразно использовать на развитие российской техники для данного направления.
В целом РНТВО обладает значительным потенциалом, в наибольшей степени сосредоточенным в Московском регионе, С.-Петербурге, Казани и Саратове. Дальнейшее развитие России во многом определяется инновационными подходами. Страна должна сохранить позиции индустриально развитой державы. В связи с этим в приоритетах государства особое место должно занять развитие наукоемких отраслей производства с высоким уровнем добавленной стоимости. Именно к таким отраслям относятся вакуумная и криогенная техника, нанотехнология.
Литература
1. Васильев Ю.К., Нестеров С.Б., Васильева Т.С. Анализ современного состояния рынка оборудования систем создания и поддержания вакуума. – Вакуумная техника и технология, 2006, т.16, №1, с.55–62.
2. Васильев Ю.К., Нестеров С.Б. Современные тенденции развития вакуумной техники. – Вакуумная техника и технология, 2009, т.19, №3, с.133–138.
3. Нестеров С.Б., Романько В.А., Андросов А.В. Области применения вакуумной техники. – М.: ОМР. ПРИНТ, 2009.
4. Нестеров С. Вакуумная технология и нанотехнология. – Наноиндустрия, 2010, №3, с.14–16.
5. Васильев Ю.К., Нестеров С.Б., Васильева Т.С. Тенденции развития средств создания безмасляного вакуума. – Технология и конструирование в электронной аппаратуре, 2010, №2, с.47–51.
6. Романько В.А., Кравченко С.В., Нестеров С.Б., Маланин Н.В., Акиншин В.Г., Панова Н.М., Христич В.В. Перспективы применения вакуумной техники и технологии в космической отрасли. – Вакуумная техника и технология, 2011, т.21, №1, с.49–56.
7. Нестеров С.Б. Современная вакуумная техника. – Аэрокосмический курьер, 2011, №2, с.92.
8. Быков Д., Нестеров С. Российскому научно-техническому вакуумному обществу – 20 лет. – Наноиндустрия, 2012, №4(34), с.8–9.
9. Нестеров С.Б. Криогенная техника, вакуумная техника и нанотехнология – три кита, на которых держится мир высоких технологий. – Холодильный бизнес, 2007, №4, с.36–39.
10.Нестеров С. 3-я международная специализированная выставка "ВакуумТехЭкспо–2008". – Наноиндустрия, 2008, №2, с.38–39.
11.Нестеров С.Б. Итоги 4-й международной специализированной выставки вакуумной техники, материалов и технологий. – Химическое и нефтегазовое машиностроение, 2009, №5, с.47–48.
12.Нестеров С.Б., Иванова Г.Н., Кривопус-това Е.В. 5-я международная выставка вакуумной техники, материалов и технологий "ВакуумТехЭкспо 2010". – Вакуумная техника и технология, 2010, №3, т.20, с.155–165.
13.Нестеров С.Б., Иванова Г.Н. 6-я международная специализированная выставка вакуумной техники, материалов и технологий "ВакуумТехЭкспо 2011". – Вакуумная техника и технология, 2011, т.21, №3, с.201–202.
14.Нестеров С., Иванова Г., Жуков Д. 7-я международная выставка "ВакуумТехЭкспо 2012". – Наноиндустрия, 2012, №4, с.22–24.
15.Нестеров С.Б., Беляева Е.В. Научно-техническая конференция "Вакуумная наука и техника" 1994–2008 гг. – Вакуумная техника и технология, 2009, т.19, №1, с.3–6.
16.Нестеров С.Б., Аляев В.А., Бурмистров А.В., Фомина М.Г. Российская студенческая научно-техническая конференция "Вакуумная техника и технология–2011". – Вакуумная техника и технология, 2011, т.21, №3, с.198–200.
17.Нестеров С.Б., Беляева Е.В. Библиография изданий по вакуумной науке, технике и технологии за 2007–2011 гг. – Вакуумная техника и технология, 2011, т.21, №3, с.203–205.
Координацию и проведение прикладных исследований в ряде направлений вакуумной техники осуществляет IUVSTA: вакуумные наука и технология, исследования и инженерия поверхности, наноразмерные структуры и формирование тонких пленок, синтез электронных материалов и их обработка, создание и изучение плазмы. Значительный интерес представляет активность созданного в 1953 году Американского вакуумного общества, в которое входит около 4500 членов со всего мира. AVS издает журнал по исследованию вакуума и технологии (Journal of Vacuum Science and Technology).
Подразделения общества разрабатывают и проводят широкий спектр работ в следующих направлениях: прикладные исследования и создание различных поверхностей, интерфейсы из биоматериалов, современные электронные материалы и технологии их изготовления, магнитные интерфейсы и наноструктуры. Ведутся работы в области наномасштабной науки и техники, исследования плазмы и создание технологий в данной сфере. Значительное внимание уделяется совместным работам с IUVSTA. На рис.1 приведены области применения современной вакуумной техники, диапазоны рабочих давлений и соответствующие режимы течения газа [1–7].
Важно отметить, что в связи с решаемыми задачами потребители уделяют серьезное внимание характеристикам используемого вакуумного оборудования (рис.2). Прежде всего – это его надежность (стойкость к негативным воздействиям), невмешательство в максимальной степени в технологический процесс (отсутствие примесей, вибрации, других воздействий), универсальность систем, автоматизация, мониторинг работы и контроль, соблюдение высоких экологических и эргономических требований.
В этой связи в мире ведутся интенсивные работы по развитию технологий вакуумных насосов. Создаются специальные изделия для сложных условий, инновационные решения для высоковакуумных приложений, не требующих форвакуумной откачки, промышленные стойкие к агрессивным воздействиям экологичные безмасляные системы.
К основным безмасляным механическим форвакуумным средствам откачки относятся кулачково-зубчатые насосы. К числу безмасляных высоковакуумных можно отнести турбомолекулярные насосы с магнитным подвесом ротора и производительностью 300–4500 л/с; турбомолекулярные насосы на керамических необслуживаемых подшипниках производительностью 30–6000 л/с; криовакуумные насосы с быстротой действия от 350 до 56000 л/с (рис.3).
К числу глобальных тенденций развития вакуумного оборудования следует отнести унификацию, стандартизацию и универсализацию вакуумных систем, увеличение их производительности и обеспечение заданных характеристик вакуума, создание и развитие новых технологий и средств откачки, разработку изделий, позволяющих вести откачку в различных режимах течения газа. Актуальная проблема – проектирование современных вакуумных систем (подбор элементов, компоновка, определение рабочих режимов, возможности расширения этих систем) и их модернизация.
Нельзя оставить в стороне и современные тенденции в развитии аналитического оборудования для исследования вакуума. Прежде всего это вакуумметрия, развитие универсальных широкодиапазонных датчиков на давления от 1000 до 10-9 мбар и высокоточных решений (емкостные датчики на давления от 10000 до10-6 мбар), автоматизация мониторинга давления и контроля процессов, определение течей и снижение массогабаритных характеристик традиционных гелиевых масс-спектрометрических течеискателей, решения для поиска течей специальных газов – водорода, фреона, упрощение такого оборудования.
Структура и объемы рынка
вакуумного оборудования
В целом наблюдается устойчивое увеличение общего объема рынка вакуумного оборудования, в первую очередь, за счет высокотехнологичных приложений; усиливается сегментация производителей по типам создаваемого оборудования; интенсифицируется развитие вторичного рынка вакуумных систем. Важно отметить, что производители стремятся разрабатывать не отдельные компоненты, а завершенные технологические комплексы (рис.4).
Вакуумная техника в СССР. Немного истории
Развитие вакуумной техники в СССР в послевоенные годы определялось следующими направлениями: атомный проект, освоение космоса, электроника, электрофизическое аппаратостроение. В результате сложилась уникальная исследовательская, проектно-конструкторская и производственная база. Были решены серьезные метрологические задачи в этой области. Производство вакуумной техники было сосредоточено на нескольких специализированных заводах, что позволило обеспечить высокий уровень выпускаемого оборудования. Все эти шаги привели к формированию в стране уникальных научных школ в области исследования вакуума, которые успешно работают и в настоящее время.
Состояние отечественной
вакуумной техники
Прежде всего важно отметить, что работы ведутся в соответствии с планами созданного 20 лет назад Российского научно-технического вакуумного общества (РНТВО), в которое входит около 1500 членов [8]. Основные цели РНТВО:
объединение ученых и инженеров для наращивания интеллектуального потенциала страны, содействие научно-техническому прогрессу;
поддержка развития фундаментальных и прикладных исследований в областях науки, использующих вакуумную технику;
профессиональная консолидация, укрепление и развитие связей между специалистами, занимающимися изучением и прикладным использованием вакуума;
создание благоприятных условий для научного и технического творчества членов общества;
представление интересов, защита профессиональных, гражданских, социальных, авторских и иных прав членов общества;
помощь в разработке и реализации международных, национальных, региональных проектов и программ в науке и образовании;
развитие международного сотрудничества, расширение связей с инженерно-технической общественностью, представителями предпринимательских структур, содействие интеграции российских ученых и специалистов в мировое сообщество;
развитие расчетно-проектировочных приложений:
– анализ различных компонентов вакуумных систем, в первую очередь насосов, на этапе проектирования и/или их модернизации;
– комплексный расчет сложных вакуумных систем для технологического процесса и подбор необходимого оборудования (рис.5).
Регулярные российские
мероприятия в сфере
вакуумных исследований
Международная выставка "Вакуумная техника, материалы и технология", Международная выставочная компания (MVK) и ФГУП "НИИВТ им. С.А.Векшинского" (Москва). Девиз организаторов мероприятия: вакуумная техника, криогенная техника и нанотехнология – три кита, на которых держится мир высоких технологий [9]. Основные цели выставки – демонстрация достижений в вакуумной технике, материалах и технологиях; их продвижение на рынок; установление деловых контактов; привлечение инвестиций; содействие формированию и реализации национальных и региональных программ в данной области. Проведено семь выставок, в которых приняло участие более 120 фирм – производителей вакуумного оборудования, в том числе из Австрии, Беларуси, Великобритании, Германии, Израиля, Китая, Латвии, Лихтенштейна, Словакии, США, Украины, Франции, Швейцарии, Японии [10–14].
Международная научно-техническая конференция "Вакуумная техника, материалы и технология" (ФГУП "НИИВТ им. С.А.Векшинского"). Проведено семь конференций, на которых работали секции: вакуумная техника и аэрокосмический комплекс; вакуумные технологии и оборудование; формирование тонких пленок; методики исследования вакуума; технологическое оборудование; нано- и биотехнологии; криогенная и криовакуумная техника. Опубликовано более 250 докладов. Количество авторов превышает 400 человек.
Научно-техническая конференция "Ваку-умная наука и техника" (РНТВО, Гурзуф, Сочи, Судак). Прошло 19 конференций, на которых работали секции: физические явления и процессы в вакууме; расчет и моделирование вакуумных систем и технологических процессов; вакуумное оборудование; средства получения и измерения вакуума, течеискание; материалы, модификация и их синтез в вакууме; процессы в вакуумных электрофизических установках и приборах; эмиссионные процессы и источники заряженных частиц в приборах; вакуумные и нанотехнологии; биомедицинские технологии, оборудование, приборы; вакуумная механика и трибология; вакуумные технологии в космических исследованиях. Опубликовано около 2 тыс. докладов. Количество авторов – более 2 тыс. [15].
Научно-техническая конференция "Вакуумная техника и технология" (СПбГПУ, С.-Петербург). Прошло 15 конференций. Количество авторов – более 500.
Международная научно-техническая конференция "Высокие технологии в промышленности России" (МГТУ им. Н.Э.Баумана, ОАО ЦНИТИ "Техномаш"). Прошло 18 конференций.
Постоянно действующий научно-технический семинар "Электровакуумная техника и технология". Прошло 35 заседаний. Опубликовано четыре тома докладов. Количество авторов – более 200.
Студенческая научно-техническая конференция "Вакуумная техника и технология" (КНИТУ, Казань). Прошло пять конференций. Опубликовано 300 докладов студентов и молодых ученых, представлявших более 30 учебных заведений из 20 городов России [16].
Всероссийская молодежная научно-практическая конференция "Вакуумная, компрессорная техника и пневмоагрегаты" (МГТУ им. Н.Э.Баумана). Прошло четыре конференции.
С 1991 года издается входящий в перечень ВАК журнал "Вакуумная техника и технология". Основные разделы.
Физика вакуума.
Расчет вакуумных систем.
Измерения вакуума.
Течеискание.
Получение вакуума.
Проектирование вакуумных систем.
Производство электронных приборов.
Вакуумное напыление.
Имплантация.
Образование, конференции и семинары.
В журнале опубликовано более 800 статей, с ним сотрудничает свыше тысячи авторов.
В результате активности РНТВО создана национальная система непрерывной подготовки специалистов в области физики вакуума, вакуумной техники и технологии, опирающаяся на государственные образовательные стандарты. Она сочетает преимущества высшего образования, отраслевой и академической науки, производства. Обеспечивает непрерывность профессиональной подготовки специалистов, охватывает многие регионы страны. Система придает образованию инновационный характер, поддерживает преемственность поколений. Она ориентирована на высокие технологии (ядерная энергетика, космонавтика, наноматериалы, наноэлектроника), имеет развитую инфраструктуру, включающую музей, библиотеку, журнал. Всего за 2007–2012 годы по вакуумной науке, технике и технологии подготовлено и издано 24 учебника и учебных пособий, 15 монографий, 11 справочно-информационных изданий [17]. Это способствует обеспеченности слушателей учебной и научной литературой.
Проблемы отечественной
вакуумной техники
Важно отметить, что для прогресса в вакуумной технике необходима четко сформулированная стратегия. Целесообразно сформировать научный совет РАН для координации исследований в области вакуумной науки и практического использования их результатов. Для дальнейшего развития вакуумной техники очень важно преодолеть разрыв поколений. Представляется, что бюджетные деньги, затрачиваемые на импортное вакуумное оборудование, целесообразно использовать на развитие российской техники для данного направления.
В целом РНТВО обладает значительным потенциалом, в наибольшей степени сосредоточенным в Московском регионе, С.-Петербурге, Казани и Саратове. Дальнейшее развитие России во многом определяется инновационными подходами. Страна должна сохранить позиции индустриально развитой державы. В связи с этим в приоритетах государства особое место должно занять развитие наукоемких отраслей производства с высоким уровнем добавленной стоимости. Именно к таким отраслям относятся вакуумная и криогенная техника, нанотехнология.
Литература
1. Васильев Ю.К., Нестеров С.Б., Васильева Т.С. Анализ современного состояния рынка оборудования систем создания и поддержания вакуума. – Вакуумная техника и технология, 2006, т.16, №1, с.55–62.
2. Васильев Ю.К., Нестеров С.Б. Современные тенденции развития вакуумной техники. – Вакуумная техника и технология, 2009, т.19, №3, с.133–138.
3. Нестеров С.Б., Романько В.А., Андросов А.В. Области применения вакуумной техники. – М.: ОМР. ПРИНТ, 2009.
4. Нестеров С. Вакуумная технология и нанотехнология. – Наноиндустрия, 2010, №3, с.14–16.
5. Васильев Ю.К., Нестеров С.Б., Васильева Т.С. Тенденции развития средств создания безмасляного вакуума. – Технология и конструирование в электронной аппаратуре, 2010, №2, с.47–51.
6. Романько В.А., Кравченко С.В., Нестеров С.Б., Маланин Н.В., Акиншин В.Г., Панова Н.М., Христич В.В. Перспективы применения вакуумной техники и технологии в космической отрасли. – Вакуумная техника и технология, 2011, т.21, №1, с.49–56.
7. Нестеров С.Б. Современная вакуумная техника. – Аэрокосмический курьер, 2011, №2, с.92.
8. Быков Д., Нестеров С. Российскому научно-техническому вакуумному обществу – 20 лет. – Наноиндустрия, 2012, №4(34), с.8–9.
9. Нестеров С.Б. Криогенная техника, вакуумная техника и нанотехнология – три кита, на которых держится мир высоких технологий. – Холодильный бизнес, 2007, №4, с.36–39.
10.Нестеров С. 3-я международная специализированная выставка "ВакуумТехЭкспо–2008". – Наноиндустрия, 2008, №2, с.38–39.
11.Нестеров С.Б. Итоги 4-й международной специализированной выставки вакуумной техники, материалов и технологий. – Химическое и нефтегазовое машиностроение, 2009, №5, с.47–48.
12.Нестеров С.Б., Иванова Г.Н., Кривопус-това Е.В. 5-я международная выставка вакуумной техники, материалов и технологий "ВакуумТехЭкспо 2010". – Вакуумная техника и технология, 2010, №3, т.20, с.155–165.
13.Нестеров С.Б., Иванова Г.Н. 6-я международная специализированная выставка вакуумной техники, материалов и технологий "ВакуумТехЭкспо 2011". – Вакуумная техника и технология, 2011, т.21, №3, с.201–202.
14.Нестеров С., Иванова Г., Жуков Д. 7-я международная выставка "ВакуумТехЭкспо 2012". – Наноиндустрия, 2012, №4, с.22–24.
15.Нестеров С.Б., Беляева Е.В. Научно-техническая конференция "Вакуумная наука и техника" 1994–2008 гг. – Вакуумная техника и технология, 2009, т.19, №1, с.3–6.
16.Нестеров С.Б., Аляев В.А., Бурмистров А.В., Фомина М.Г. Российская студенческая научно-техническая конференция "Вакуумная техника и технология–2011". – Вакуумная техника и технология, 2011, т.21, №3, с.198–200.
17.Нестеров С.Б., Беляева Е.В. Библиография изданий по вакуумной науке, технике и технологии за 2007–2011 гг. – Вакуумная техника и технология, 2011, т.21, №3, с.203–205.
Отзывы читателей
