DOI: https://doi.org/10.22184/1993-8578.2025.18.7-8.420.431

В работе показана возможность создания чувствительных элементов на основе интегрально-оптической технологии и МЭМС-структур. Представлен прототип датчика давления, работающего на принципе оптической интерференции. Чувствительный элемент датчика основан на интерферометре Маха-Цендера, одно из плеч которого располагается на деформируемой мембране. Оптическая схема интерферометра реализована на интегральных волноводах из Si3N4. В ходе исследования выполнена теоретическая оценка влияния деформации мембраны на геометрию волновода. Проведенные расчеты были апробированы в ходе экспериментальных исследований макетов микрооптомеханического датчика давления с различной конфигурацией плеч интерферометра. В результате исследований разработан технологический базис интегрально-оптических датчиков на основе нитрид-кремниевых волноводов и МЭМС-технологии по формированию мембран на кремниевых подложках.