eng
Спецвыпуск/2025
Д.В.Горелов, Е.А.Лебедев, Н.А.Моляков, А.И.Новосельцев, А.М.Тарасов, Д.В.Новиков, А.И.Савицкий
ОПТИМИЗАЦИЯ ПРОЦЕССА ФОРМИРОВАНИЯ ТОНКИХ ПЛЕНОК НА ОСНОВЕ MoxSiy ДЛЯ ИК-ИЗЛУЧАТЕЛЕЙ МЕТОДОМ МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ
ОПТИМИЗАЦИЯ ПРОЦЕССА ФОРМИРОВАНИЯ ТОНКИХ ПЛЕНОК НА ОСНОВЕ MoxSiy ДЛЯ ИК-ИЗЛУЧАТЕЛЕЙ МЕТОДОМ МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ
Просмотры: 52
10.22184/1993-8578.2025.18.12s.5.9
Подпишитесь на журнал, чтобы прочитать полную версию статьи.
Подпишитесь на журнал, чтобы прочитать полную версию статьи.
Отзывы читателей
