Наноиндустрия - научно-технический журнал - Спецвыпуск/2025

Материалы и технологии создания МЭМС-элементов: микронагревателей, ИК-излучателей, МЭМС- переключателей
Конструкции и технологии микросборок
Нейроморфные вычисления
Фотоэлектронные умножители, элементы фотонных интегральных схем
Моделирование, разработка и изготовление изделий микроэлектроники: гальваническая развязка, трансформатор, pH-сенсор, P-I-N-фотодетектор

Наш сайт использует cookies. Продолжая просмотр, вы даёте согласие на обработку персональных данных и соглашаетесь с нашей Политикой Конфиденциальности

Согласен

Поиск:

на сайте журнала
на всех сайтах РИЦ

Архив журнала

Медиаданные

Редакционная политика

Контакты

Монолит

© 2001-2025
РИЦ Техносфера
Все права защищены
Тел. +7 (495) 234-0110
Оферта

R&W

ISSN 1993-8578
ISSN 2687-0282 (online)

Книги по нанотехнологиям

Статьи

Наноиндустрия спецвыпуск/2025
МЕХАНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ ПЛЕНОК MoSi2, СФОРМИРОВАННЫХ МАГНЕТРОННЫМ РАСПЫЛЕНИЕМ, ДЛЯ СОЗДАНИЯ ТЕРМОСТАБИЛЬНЫХ МЭМС ИК-ИЗЛУЧАТЕЛЕЙ

Наноиндустрия #7-8/2025
Годовое содержание

Новости // все новости

26.11.2025
Итоги Российского форума «Микроэлектроника 2025»

25.11.2025
Новый российский прибор для измерения концентрации и размера наночастиц в жидкости — NP Counter

События // все события

c 24.03.2026 до 25.03.2026
Санкт-Петербургский международный экологический форум «Экология большого города»

c 07.04.2026 до 09.04.2026
IPhEB 2026. г. Санкт- Петербург

Вход:

Ваш e-mail:

Пароль:

- запомнить меня

Регистрация

Забыли пароль?

Архив журнала:

2025
2024
2023
2022
2021
2020
2019
2018
2017
2016
2015
2014
2013
2012
2011
2010
2009
2008
2007

Медиаданные:

О журнале

О публикациях

Предметная область и рубрикатор

Редакционная коллегия

Редакционный совет

Распространение

Учредитель

Издатель

План издания

Редакционная политика:

Редакционная политика РИЦ «ТЕХНОСФЕРА»

Редакционная политика журнала "НАНОИНДУСТРИЯ"

Реклама:

В журнале

На сайте

Отдел рекламы

Авторам:

Стратегия оформления

Наукометрия

Соискателям учёной степени

Требования к статьям и рецензирование

Контакты:

Распространение

Редакция

Журналы:

Электроника НТБ

Наноиндустрия

Первая миля

Фотоника

Аналитика

Станкоинструмент

Книги по нанотехнологиям

читать книгу

Альтман Ю.

Военные нанотехнологии. Возможности применения и превентивного контроля вооружений. Издание 2-е, дополненное и исправленное.

читать книгу

Гамбург Ю. Д.

Гальванические покрытия. Справочник по применению

читать книгу

Синдо Д., Оикава Т.

Аналитическая просвечивающая электронная микроскопия для материаловедения

Другие серии книг:

Мир материалов и технологий
Библиотека Института стратегий развития
Мир квантовых технологий
Мир математики
Мир физики и техники
Мир биологии и медицины
Мир химии
Мир наук о Земле
Мир электроники
Мир программирования
Мир связи
Мир строительства
Мир цифровой обработки
Мир экономики
Мир дизайна
Мир увлечений
Мир робототехники и мехатроники
Для кофейников
Мир радиоэлектроники
Библиотечка «КВАНТ»
Умный дом
Мировые бренды
Вне серий
Библиотека климатехника
Мир транспорта
Мир фотоники
Мир станкостроения
Мир метрологии
Мир энергетики
Книги, изданные при поддержке РФФИ

Спецвыпуск/2025

Материалы и технологии создания МЭМС-элементов: микронагревателей, ИК-излучателей, МЭМС- переключателей

Конструкции и технологии микросборок

Нейроморфные вычисления

Фотоэлектронные умножители, элементы фотонных интегральных схем

Моделирование, разработка и изготовление изделий микроэлектроники: гальваническая развязка, трансформатор, pH-сенсор, P-I-N-фотодетектор

Аннотации статей

Table of Contents

Содержание

Nanotechnology

Нанотехнологии

D.V.Gorelov, E.A.Lebedev, N.A.Molyakov, A.I.Novoseltsev, A.M.Tarasov, D.V.Novikov, A.I.Savitskiy
OPTIMIZING MoXSiY THIN FILM FORMATION PROCESS FOR IR EMITTERS BY MAGNETRON SPUTTERING

Д.В.Горелов, Е.А.Лебедев, Н.А.Моляков, А.И.Новосельцев, А.М.Тарасов, Д.В.Новиков, А.И.Савицкий
ОПТИМИЗАЦИЯ ПРОЦЕССА ФОРМИРОВАНИЯ ТОНКИХ ПЛЕНОК НА ОСНОВЕ MoxSiy ДЛЯ ИК-ИЗЛУЧАТЕЛЕЙ МЕТОДОМ МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ

A.I.Savitskiy, D.V.Gorelov, A.M.Tarasov, D.V.Novikov, N.A.Molyakov, E.A.Lebedev
FORMATION OF A MODIFICATION COATING BASED ON MANGANESE OXIDES TO INCREASE THE RADIATION EFFICIENCY OF IR EMITTERS BASED ON Ni MICRONHEATERS

А.И.Савицкий, Д.В.Горелов, А.М.Тарасов, Д.В.Новиков, Н.А.Моляков, Е.А.Лебедев
ФОРМИРОВАНИЕ МОДИФИЦИРУЮЩЕГО ПОКРЫТИЯ НА ОСНОВЕ ОКСИДОВ МАРГАНЦА ДЛЯ УВЕЛИЧЕНИЯ ЭФФЕКТИВНОСТИ ИЗЛУЧЕНИЯ ИК-ИЗЛУЧАТЕЛЕЙ НА ОСНОВЕ Ni-МИКРОНАГРЕВАТЕЛЕЙ

А.А.Grebenkina, М.D.Andreev, А.V.Nikolaeva, S.А.Polomoshnov, V.V.Krivetsky
STABILIZATION OF SEMICONDUCTOR GAS MEMS SENSOR RESPONSES USING MACHINE LEARNING METHODS

А.А.Гребенкина, М.Д.Андреев, А.В.Николаева, С.А.Поломошнов, В.В.Кривецкий
СТАБИЛИЗАЦИЯ ОТКЛИКА ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ГАЗОВЫХ МЭМС-СЕНСОРОВ С ПОМОЩЬЮ МЕТОДОВ МАШИННОГО ОБУЧЕНИЯ

S.V.Nikiforov, S.S.Generalov, D.V.Gorelov, P.А.Syvorotkin, V.V.Platonov, I.V.Godovitsin, V.V.Amelichev, А.А.Cheremisinov
APPLICATION OF IMMERSION FLUIDS IN ELECTROSTATIC ACTUATORS OF OPTICAL MEMS SWITCHES

С.В.Никифоров, С.С.Генералов, Д.В.Горелов, П.А.Сывороткин, В.В.Платонов, И.В.Годовицын, В.В.Амеличев, А.А.Черемисинов
ПРИМЕНЕНИЕ ИММЕРСИОННЫХ ЖИДКОСТЕЙ В ЭЛЕКТРОСТАТИЧЕСКИХ АКТЮАТОРАХ ОПТИЧЕСКИХ МЭМС-ПЕРЕКЛЮЧАТЕЛЕЙ

V.А.Sergeev, I.V.Frolov, А.А.Kazankov, О.А.Radaev, А.М.Nizametdinov, А.А.Chertoriysky, А.М.Khodakov, А.А.Gavrikov, V.S.Suhanov, R.S.Litvinenko
METHODOLOGY FOR IDENTIFYING PARAMETERS OF THERMAL EQUIVALENT CIRCUITS OF ELECTRONIC MODULES AND MICROASSEMBLIES

В.А.Сергеев, И.В.Фролов, А.А.Казанков, О.А.Радаев, А.М.Низаметдинов, А.А.Черторийский, А.М.Ходаков, А.А.Гавриков, В.С.Суханов, Р.С.Литвиненко
МЕТОДИКА ИДЕНТИФИКАЦИИ ПАРАМЕТРОВ ТЕПЛОВЫХ ЭКВИВАЛЕНТНЫХ СХЕМ ЭЛЕКТРОННЫХ МОДУЛЕЙ И МИКРОСБОРОК

M.A.Evstafyev, I.S.Marinkin, E.A.Lebedev, I.M.Gavrilin, A.I.Novoselcev
STUDY OF THE FEATURES OF SEQUENTIAL LOCAL DEPOSITION OF CATHODE MATERIALS BASED ON LiFePO4 AND ANODE MATERIALS BASED ON GE NANOFIBERS FOR PLANAR LITHIUM-ION BATTERIES

М.А.Евстафьев, И.С.Маринкин, Е.А.Лебедев, И.М.Гаврилин, А.И.Новосельцев
ИССЛЕДОВАНИЕ ОСОБЕННОСТЕЙ ПОСЛЕДОВАТЕЛЬНОГО ЛОКАЛЬНОГО ОСАЖДЕНИЯ КАТОДНЫХ МАТЕРИАЛОВ НА ОСНОВЕ LiFePO4 И АНОДНЫХ МАТЕРИАЛОВ НА ОСНОВЕ НАНОВОЛОКОН Ge ДЛЯ ПЛАНАРНЫХ ЛИТИЙ-ИОННЫХ АККУМУЛЯТОРОВ

A.I.Kochaev, D.V.Kozlov, R.S.Litvinenko, A.V.Suhanov, K.I.Ilin
MULTISCALE ATOMISTIC MODELING OF PHYSICAL CHARACTERISTICS OF ALUMINUM-GRAPHITE INTERFACES

А.И.Кочаев, Д.В.Козлов, Р.С.Литвиненко, А.В.Суханов, К.И.Ильин
МНОГОМАСШТАБНОЕ АТОМИСТИЧЕСКОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ ФИЗИЧЕСКИХ ХАРАКТЕРИСТИК АЛЮМО-ГРАФИТОВЫХ ИНТЕРФЕЙСОВ

Е.V.Artsebasheva, S.А.Muromtsev
COMPARATIVE ANALYSIS OF APPROACHES TO THE PAYMENT OF ROYALTIES OF RUSSIAN SCIENTIFIC AND EDUCATIONAL ORGANIZATIONS

Е.В.Арцебашева, С.А.Муромцев
СРАВНИТЕЛЬНЫЙ АНАЛИЗ ПОДХОДОВ К ПОРЯДКУ ВЫПЛАТЫ АВТОРСКОГО ВОЗНАГРАЖДЕНИЯ РОССИЙСКИХ НАУЧНЫХ И ОБРАЗОВАТЕЛЬНЫХ ОРГАНИЗАЦИЙ

L.A.Al-Khadge, I.A.Voloshchuk, A.V.Ermachikhin, Yu.V.Vorobyov, A.I.Savitsky, G.V.Mironov, A.V.Kiselev, D.D.Tuzhilin, P.I.Lazarenko, D.Yu.Terekhov, A.O.Yakubov
ELECTROPHYSICAL PROPERTIES OF HIGH-RESISTANCE AMORPHOUS THIN FILMS OF Ge2Sb2Te5 IN A WIDE RANGE OF ELECTRIC FIELD STRENGTHS

Л.А.Эль-Хадж, И.А.Волощук, А.В.Ермачихин, Ю.В.Воробьев, А.И.Савицкий, Г.В.Миронов, А.В.Киселев, Д.Д.Тужилин, П.И.Лазаренко, Д.Ю.Терехов, А.О.Якубов
ЭЛЕКТРОФИЗИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА ВЫСОКООМНЫХ АМОРФНЫХ ТОНКИХ ПЛЕНОК Ge2Sb2Te5 В ШИРОКОМ ДИАПАЗОНЕ НАПРЯЖЕННОСТИ ЭЛЕКТРИЧЕСКОГО ПОЛЯ

A.A.Shamanaev, R.M.Ryazanov, Yu.O.Vasilevskaya, M.A.Lebedeva, A.A.Dudin, E.M.Eganova, E.P.Kitsyuk
FEATURES OF PLASMA ENHANCED CATALYTIC SYNTHESIS OF ORDERED CNT ARRAYS ON THE TOPOLOGICAL STRUCTURES

А.А.Шаманаев, Р.М.Рязанов, Ю.О.Василевская, М.А.Лебедева, А.А.Дудин, Е.М.Еганова, Е.П.Кицюк
ОСОБЕННОСТИ ПЛАЗМОСТИМУЛИРОВАННОГО КАТАЛИТИЧЕСКОГО СИНТЕЗА ОРИЕНТИРОВАННЫХ МАССИВОВ УНТ НА ТОПОЛОГИЧЕСКИХ СТРУКТУРАХ

V.V.Svetukhin, I.O.Yavtushenko
CREATION OF REGULAR STRUCTURES OF A GIVEN SIZE USING ULTRA-SHORT LASER PULSES IN VARIOUS MEDIA, USING SILICON CRYSTALS AS AN EXAMPLE

В.В.Светухин, И.О.Явтушенко
СОЗДАНИЕ РЕГУЛЯРНЫХ СТРУКТУР ЗАДАННОГО РАЗМЕРА УЛЬТРАКОРОТКИМИ ЛАЗЕРНЫМИ ИМПУЛЬСАМИ В РАЗЛИЧНЫХ СРЕДАХ НА ПРИМЕРЕ КРИСТАЛЛОВ КРЕМНИЯ

D.M.Kobtsev, I.O.Venediktov, S.S.Svyatodukh, A.D.Golikov, A.A.Nevzorov, P.I.Lazarenko, E.P.Kitsyuk, V.V.Svetukhin, V.V.Kovalyuk, G.N.Goltsman
STUDY OF BANDWIDTH OF ELECTRO-OPTICAL MODULATOR ON RING MICRORESONATOR MADE OF THIN-FILM LITHIUM NIOBATE ON INSULATOR

Д.М.Кобцев, И.О.Венедиктов, С.С.Святодух, А.Д.Голиков, А.А.Невзоров, П.И.Лазаренко, Е.П.Кицюк, В.В.Светухин, В.В.Ковалюк, Г.Н.Гольцман
ИССЛЕДОВАНИЕ БЫСТРОДЕЙСТВИЯ ЭЛЕКТРООПТИЧЕСКОГО МОДУЛЯТОРА НА КОЛЬЦЕВОМ МИКРОРЕЗОНАТОРЕ ИЗ ТОНКОПЛЕНОЧНОГО НИОБАТА ЛИТИЯ НА ИЗОЛЯТОРЕ

D.A.Guryev, I.V.Zhluktova1, V.A.Kamynin, P.I.Lazarenko, A.O.Yakubov, V.V.Kovalyuk, S.A.Kozyukhin, V.V.Svetukhin, V.B.Tsvetkov
MULTILEVEL REFLECTION SWITCHING OF A Ge2Sb2Te5 FIBER ELEMENT USING PICOSECOND PULSES WITH 1MHZ REPETITION RATE

Д.А.Гурьев, И.В.Жлуктова, В.А.Камынин, П.И.Лазаренко, А.О.Якубов, В.В.Ковалюк, C.А.Козюхин, В.В.Светухин, В.Б.Цветков
МНОГОУРОВНЕВОЕ ПЕРЕКЛЮЧЕНИЕ ОТРАЖЕНИЯ ВОЛОКОННОГО ЭЛЕМЕНТА НА ОСНОВЕ ПЛЕНКИ Ge2Sb2Te5 С ПОМОЩЬЮ ПИКОСЕКУНДНЫХ ИМПУЛЬСОВ С ЧАСТОТОЙ СЛЕДОВАНИЯ 1 МГЦ

D.D.Butmanov, M.Y.Prudnikovа, D.V.Novikov, R.M.Ryazanov, D.A.Dronova, T.P.Savchuk
EFFECT OF ELECTROLYTE TEMPERATURE ON THE PHASE COMPOSITION AND OPTICAL PROPERTIES OF TITANIUM OXIDE ANODE NANOTUBE ARRAYS

Д.Д.Бутманов, М.Ю.Прудникова, Р.М.Рязанов, Д.В.Новиков, Д.А.Дронова, Т.П.Савчук
ВЛИЯНИЕ ТЕМПЕРАТУРЫ ЭЛЕКТРОЛИТА НА ФАЗОВЫЙ СОСТАВ И ОПТИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА МАССИВОВ АНОДНЫХ НАНОТРУБОК ОКСИДА ТИТАНА

P.O.Ksenofontova, R.T.Sibatov
FRACTAL SILVER ISLAND FILMS NEAR THE PERCOLATION THRESHOLD FOR NEUROMORPHIC COMPUTING

П.О.Ксенофонтова, Р.Т.Сибатов
ФРАКТАЛЬНЫЕ ОСТРОВКОВЫЕ ПЛЕНКИ СЕРЕБРА ВБЛИЗИ ПОРОГА ПЕРКОЛЯЦИИ ДЛЯ НЕЙРОМОРФНЫХ ВЫЧИСЛЕНИЙ

P.N.Vasilevsky, Yu.O.Vasilevskaya, D.T.Murashko, M.S.Savelyev, A.Yu.Gerasimenko
ALL-OPTICAL LOGICAL OPERATION REALIZATION IN CARBON NANOTUBES SUSPENSION USING SPATIAL CROSS-PHASE MODULATION

П.Н.Василевский, Ю.О.Василевская, Д.Т.Мурашко, М.С.Савельев, А.Ю.Герасименко
ПОЛНОСТЬЮ ОПТИЧЕСКАЯ РЕАЛИЗАЦИЯ ЛОГИЧЕСКИХ ОПЕРАЦИЙ В СУСПЕНЗИИ УГЛЕРОДНЫХ НАНОТРУБОК С ИСПОЛЬЗОВАНИЕМ ПРОСТРАНСТВЕННОЙ ФАЗОВОЙ КРОСС-МОДУЛЯЦИИ

A.A.Zhukov, E.P.Kitsyuk, R.M.Ryazanov
STUDY OF OPTICAL CROSSTALK SUPPRESSION METHODS IN SILICON PHOTOMULTIPLIERS

А.А.Жуков, Е.П.Кицюк, Р.М.Рязанов
ИССЛЕДОВАНИЕ МЕТОДОВ ПОДАВЛЕНИЯ ОПТИЧЕСКОЙ СВЯЗИ В КРЕМНИЕВЫХ ФОТОЭЛЕКТРОННЫХ УМНОЖИТЕЛЯХ

D.Zhangireev, А.V.Shemyakin, S.О.Belostotskaya
DEVELOPMENT OF SPICE MODELS FOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICES BASED ON DEVICE-TECHNOLOGY SIMULATION RESULTS

Д.Жангиреев, А.В.Шемякин, С.О.Белостоцкая
РАЗРАБОТКА SPICE-МОДЕЛЕЙ ПРИБОРОВ ИНТЕГРАЛЬНЫХ СХЕМ ИЗ РЕЗУЛЬТАТОВ ПРИБОРНО-ТЕХНОЛОГИЧЕСКОГО МОДЕЛИРОВАНИЯ

A.V.Alekseyev, A.V.Shemyakin
MODELING OF INTERCONNECT PARAMETER CORNERS IN VLSI: AN OVERVIEW

А.В.Алексеев, А.В.Шемякин
МОДЕЛИРОВАНИЕ ГРАНИЦ ПАРАМЕТРОВ МЕЖСОЕДИНЕНИЙ В СБИС: ОБЗОР

R.A.Fedorov, A.A.Lukianov, A.S.Roslyakov
SERIES OF MICROCHIPS 5575BB: TECHNOLOGICAL SOVEREIGNTY IN THE SEGMENT OF GALVANIC ISOLATION OF HIGH-SPEED INTERFACES

Р.А.Федоров, А.А.Лукьянов, А.С.Росляков
СЕРИЯ МИКРОСХЕМ 5575ВВ: ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЙ СУВЕРЕНИТЕТ В СЕГМЕНТЕ ГАЛЬВАНИЧЕСКОЙ РАЗВЯЗКИ ВЫСОКОСКОРОСТНЫХ ИНТЕРФЕЙСОВ

R.V.Magerramov, E.Y.Ilinova
RESEARCH AND DEVELOPMENT OF TRANSFORMERS FOR A PULSED PUSH-PULL SECONDARY POWER SUPPLY

Р.В.Магеррамов, Е.Ю.Ильинова
ИССЛЕДОВАНИЕ РЕАЛИЗАЦИЙ ТРАНСФОРМАТОРОВ ДЛЯ ИМПУЛЬСНОГО ДВУХТАКТНОГО ИСТОЧНИКА ВТОРИЧНОГО ЭЛЕКТРОПИТАНИЯ

M.A.Saurov, D.V.Gorelov, M.I.Bazarova
P-I-N PHOTODETECTORS FOR MICRO-OPTO-MECHANICAL CONVERTERS OF PHYSICAL QUANTITES

М.А.Сауров, Д.В.Горелов, М.И.Базарова
P-I-N-ФОТОДЕТЕКТОРЫ ДЛЯ МИКРООПТОМЕХАНИЧЕСКИХ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЕЙ ФИЗИЧЕСКИХ ВЕЛИЧИН

D.V.Ryazantsev, S.O.Belostotskaya
A CMOS-COMPATIBLE FLOATING-GATE MOSFET DOSIMETER FOR IONIZING RADIATION MONITORING

Д.В.Рязанцев, C.О.Белостоцкая
КМОП-СОВМЕСТИМЫЙ ДОЗИМЕТР НА ОСНОВЕ МОП-СТРУКТУРЫ С ПЛАВАЮЩИМ ЗАТВОРОМ ДЛЯ КОНТРОЛЯ ИОНИЗИРУЮЩЕГО ИЗЛУЧЕНИЯ

A.M.Katsero, A.E.Gabdrakhmanov, D.V.Ryazantsev, N.V.Komarova, A.E.Kuznetsov
PH-SENSOR WITH EXTENDED GATE AND LIQUID CONTACT ON THE BACK OF THE SUBSTRATE

А.М.Кацеро, А.Э.Габдрахманов, Д.В.Рязанцев, Н.В.Комарова, А.Е.Кузнецов
pН-СЕНСОР С РАСШИРЕННЫМ ЗАТВОРОМ И КОНТАКТОМ К ЖИДКОСТИ НА ОБРАТНОЙ СТОРОНЕ ПОДЛОЖКИ

O.V.Gubanova, A.E.Gabdrakhmanov, E.N.Rybachek, V.P.Grudtsov, A.E.Kuznetsov
COMPARISON OF PLANAR AND NANOWIRE MOS CAPACITORS BASED ON SILICON-ON-INSULATOR TECHNOLOGY

О.В.Губанова, А.Э.Габдрахманов, Е.Н.Рыбачек, В.П.Грудцов, А.Е.Кузнецов
СРАВНЕНИЕ ПЛАНАРНОГО И НАНОПРОВОЛОЧНОГО МОП-КОНДЕНСАТОРОВ НА ОСНОВЕ ТЕХНОЛОГИИ КРЕМНИЙ НА ИЗОЛЯТОРЕ

D.V.Gorelov, A.I.Novoseltsev, M.Сheshkov, A.M.Lavrenova, A.I.Savitskiy
MECHANICAL CHARACTERISTICS OF MAGNETRON-SPUTTERED MoSi2 FILMS FOR THERMAL-STABLE MEMS INFRARED EMITTERS

Д.В.Горелов, А.И.Новосельцев, М.Чешков, А.М.Лавренова, А.И.Савицкий
МЕХАНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ ПЛЕНОК MoSi2, СФОРМИРОВАННЫХ МАГНЕТРОННЫМ РАСПЫЛЕНИЕМ, ДЛЯ СОЗДАНИЯ ТЕРМОСТАБИЛЬНЫХ МЭМС ИК-ИЗЛУЧАТЕЛЕЙ

Разработка: студия Green Art