eng
Спецвыпуск/2025
С.В.Никифоров, С.С.Генералов, Д.В.Горелов, П.А.Сывороткин, В.В.Платонов, И.В.Годовицын, В.В.Амеличев, А.А.Черемисинов
ПРИМЕНЕНИЕ ИММЕРСИОННЫХ ЖИДКОСТЕЙ В ЭЛЕКТРОСТАТИЧЕСКИХ АКТЮАТОРАХ ОПТИЧЕСКИХ МЭМС-ПЕРЕКЛЮЧАТЕЛЕЙ
ПРИМЕНЕНИЕ ИММЕРСИОННЫХ ЖИДКОСТЕЙ В ЭЛЕКТРОСТАТИЧЕСКИХ АКТЮАТОРАХ ОПТИЧЕСКИХ МЭМС-ПЕРЕКЛЮЧАТЕЛЕЙ
Просмотры: 33
10.22184/1993-8578.2025.18.12s.24.32
Подпишитесь на журнал, чтобы прочитать полную версию статьи.
Подпишитесь на журнал, чтобы прочитать полную версию статьи.
Отзывы читателей
