eng
Выпуск #3/2013
В.Папко
Магнитный электроразрядный насос для технологических процессов и исследований в сверхвысоком вакууме
Магнитный электроразрядный насос для технологических процессов и исследований в сверхвысоком вакууме
Просмотры: 2898
Магнитные электроразрядные (ионные) насосы – наиболее востребуемые средства создания высокого вакуума.
Теги: magnetic electric discharge (ion) pumps super-high vacuum магнитные электроразрядные (ионные) насосы сверхвысокий вакуум
Магнитные электроразрядные (ионные) насосы (МЭРН) – наиболее востребованные средства создания высокого вакуума [1, 2, 4]. МЭРН обеспечивают:
предельный вакуум до 10-11 мбар;
ресурс работы до 106 ч;
индикацию давления;
сухую "безмасляную" откачку;
откачку активных газов в нерабочем состоянии за счет сорбции распыленных при работе пленок титана;
высокую эксплуатационную надежность;
низкую стоимость обслуживания;
различное расположение насоса при монтаже;
бесшумную работу и отсутствие вибраций.
На корпусе насоса размещаются магниты, а внутри его расположен откачивающий элемент. Физически принцип откачки связан с ионно-сорбционным поглощением газа [2–4].
Основные узлы типового диодного откачивающего элемента насоса представлены на рис.1. Магнитное поле с индукцией до 1200 Гс направлено вдоль оси цилиндрических анодных ячеек, имеющих положительный относительно катода потенциал, равный 4–7 кВ. При понижении давления и приложении между анодом и катодом напряжения в пространстве между торцевыми катодами в цилиндрической ячейке зажигается разряд Пеннинга.
Откачиваемые газы ионизируются электронами, выбиваемыми из катода при автоэлектронной эмиссии или в результате его бомбардировки ионами откачиваемого газа.
За счет воздействия на катод положительных ионов распыляется титан, осаждающийся на аноде, где он, благодаря высоким поглощающей способности и химической активности, взаимодействует с химически активными газами, образуя прочные хемосорбированные связи. Механизм откачки инертных газов заключается в физической адсорбции положительных ионов на катоде, а отрицательных ионов и высокоэнергетических нейтральных частиц – на аноде и последующем их "замуровывании" молекулами с катода. Откачка инертных газов активизируется, если использовать катод насоса из материала с большей плотностью, например, тантала [2, 3].
Другой способ увеличения эффективности откачки инертных газов – применение триодной системы (рис.2) с катодом в виде сетки или решетки, а напыление титана ведется дополнительно на коллектор, являющийся корпусом насоса [2].
Основная причина выработки ресурса МЭРН связана с расходом материала катодных пластин или с их деформацией в результате насыщения водородом. Распыление материала катодов и их насыщение связаны с рабочим давлением насоса [1], поэтому ресурс МЭРН привязан к давлению 10-6 мбар. Как правило, он колеблется в диапазоне (5–8)×104 ч.
Для увеличения ресурса работы необходимо уменьшить время выхода насоса на рабочее давление, что обеспечивается предварительной откачкой с использованием азотных криосорбционных насосов, удаляющих пары воды. В системе, которая часто вскрывается на атмосферу, МЭРН изолируется клапаном, а перед напуском в нее атмосферного газа система заполняется сухим азотом. Эффективность откачки МЭРН возрастает при встраивании в их рабочий объем дополнительных насосов с распыляемыми или нераспыляемыми геттерами и криопанелей [1].
При откачке технологическая среда может подвергаться воздействию вакуумной откачной системы. Влияние МЭРН на среду может объясняться миграцией остатков веществ, используемых при механической обработке деталей насоса; загрязнениями, входящими в состав конструкционных и сорбционных материалов; микротечами; десорбцией ранее "замурованных" молекул инертных газов; выходом плазмы из разрядного промежутка. Кроме того, на среду могут воздействовать рассеянные магнитные поля насоса [2].
На рынке вакуумного оборудования МЭРН достаточно полно представлены компанией Gamma Vacuum. Характеристики насосов этой компании не уступают параметрам аналогичных изделий данного типа, а по некоторым показателям превосходят их. Конструкция и технология их изготовления обеспечивают остаточное давление до 10-12 мбар и исключают отрицательное воздействие на газовую среду в откачиваемой вакуумной системе. В конструкцию насоса введена запатентованная компанией система Eximo, снижающая поступление плазмы из насоса в 103 раз.
Насосы Gamma Vacuum по сравнению с изделиями, предлагаемыми другими компаниями, имеют более широкий диапазон скоростей откачки (от 0,2 до 1200 л/с) и более полный модельный ряд (рис.3). В частности, легкая серия S представлена насосами 02S, 3S, 10S, 25S, 45S,75S; серия L и LX – 100L, 200L, 300L, 400L, 600L, 400LX, 600LX, 800LX, 1200LX; серия TV – 150TV, 300TV, 600TV.
Цифра в названии насоса соответствует скорости откачки активных газов (л/с), которая у комбинированного и триодного насосов на 20% меньше, чем у традиционных. Эти насосы имеют лучший, по сравнению с аналогами, коэффициент отношения скорости откачки к его весу, составляющий (4,5–5,0) кг⋅л/с. Следует отметить также, что насосы Gamma Vacuum имеют меньшую стоимость.
В зависимости от пожелания заказчика, они могут быть скомпонованы в различной конфигурации, а также поставляться с титановыми корпусами. Особо интересна компоновка насоса с двумя фланцами, позволяющими встраивать его в протяженные вакуумные системы, например, в камеры ускорителей [1].
Контроллеры насосов Gamma Vacuum (рис.4) отличаются высокой надежностью, позволяют в автоматическом режиме реализовывать широкий диапазон эксплуатационных опций. Все контроллеры имеют жидкокристаллический дисплей, на котором отображаются значения напряжения, тока и давления. Контроллер SPCe в своем составе имеет эмиссионный анализатор Фаулера-Нордхейма, что позволяет определять в измеряемом электрическом токе, который пропорционален давлению, эмиссионную составляющую и затем за счет увеличения напряжения до 12 кВ осуществлять "выжигание" источников автоэмиссии. Интерес специалистов вызывает возможность быстрого запуска насосов при давлении ниже 10-8 мбар и оперативного устранения замыкания межэлектродного пространства насоса.
Контроллеры позволяют напрямую или с помощью специальных блоков обеспечивать питание встраиваемых в насос геттерных насосов и нагревателя.
При использовании насосов компании Gamma Vacuum можно непосредственно контактировать с представителями фирмы либо специалистами ЗАО "Интек Аналитика", осуществляющими поддержку потребителя на стадиях разработки и эксплуатации вакуумных изделий и систем.
Литература
Сверхвысокий вакуум в радиационно-физическом аппаратостроении. / Под ред. Г.Л.Саксаганского. – М.: Атомиздат, 1976.
Саксаганский Г.Л. Электро-физические
вакуумные насосы. – М.: Атомиздат,1988.
Розанов Л.Н. Вакуумная техника. – М.: Высшая школа, 1990.
Вакуумная техника: справочник.
К.Е.Демихов, Ю.В.Панфилов, Н.К.Никулин и др. / Под общ. ред. К.Е.Демихова,
Ю.В.Панфилова, 3 изд-е, перераб. и доп. –
М.: Машиностроение, 2009.
Magnetic discharge (ion) pumps (МDP) are the most asked for devices for creation of high vacuum [1, 2, 4]. They ensure:
Ultimate vacuum up to 10-11 millibars;
Service life up to 106 hours;
Pressure indication;
Dry oil-free pumping out;
Pumping out of the active gases in an inactive status due to sorption of the titanium films dispersed during operation;
High operational reliability;
Low cost of service;
Various possible installation positions of the pump;
Noiseless work and absence of vibrations.
Magnets are fixed on the pump case, and inside of it a pumping out element is located. The physical operating principle of pumping out is based on an ion-sorbtion gas absorption [2–4].
The basic units of a typical diod pumping out element of the pump are presented on Fig.1. A magnetic field with an induction up to 1200 gauss is directed along the axis of the cylindrical anode cells which have in relation to the cathode positive potential equal to 4 – 7 kV. When the pressure is lowered and voltage is applied between the anode and the pressure cathode, Penning discharge lights up in the space between the face cathodes in a cylindrical cell.
The pumped out gases are ionized by the elecrones knocked out of the cathode during an autoelectronic emission or as a result of its bombardment by ions of the pumped out gas.
Titanium under the impact of the positive ions on the cathode is dispersed and falls out on the anode, where it due to its high absorptive capacity and chemical activity interacts with the chemically active gases and forms strong chemisorbed links.
The mechanism of pumping out of the inert gases boils down to a physical adsorption of the positive ions on the cathode, and negative ions and high-energy neutral particles – on the anode, and their subsequent "immuring" by the molecules from the cathode. Pumping out of the inert gases becomes more active, if the cathode of the pump is made from a material with higher density, for example, tantalum [2, 3].
Another way to increase the efficiency of pumping out of the inert gases is application of a triode system (Fig.2) with the cathode made in the form of a grid or a lattice, while sputtering of the titanium is implemented additionally on the collector, which also is the case of the pump [2].
The principal cause of depletion of MDP resource is due to the consumption of the material of the cathode plates or to their deformation as a result of saturation by hydrogen. Dispersion of the cathodes and their saturation are connected with the working pressure of the pump [1], therefore the service life of MDP is determined by the pressure of 10-6 millibars. As a rule, it fluctuates within the range of (5–8) ×104 hours.
In order to increase the service life it is necessary to reduce the period of time necessary for the pump to achieve the working pressure which is done by a preliminary pumping out with the use of cryogetter pumps removing the water vapors. The system which is often open for the atmosphere, MDP is isolated by a valve, and before the atmospheric gas is admitted into it the system is filled with a dry nitrogen. MDP’s pumping out efficiency is increased, if additional getter and cryogenic devices are embedded in their working volume [2].
During the pumping out process the technological environment can be exposed to the influence of the vacuum evacuation system. Influence of MDP on the environment can be explained by the following factors: Migration of the residual substances used for mechanical processing of the parts of a pump; impurities which are a part of the constructional and sorption materials; microleaks; desorption of the previously "immured" molecules of the inert gases; escape of plasma from a discharge gap. Besides, the environment can be affected by the scattered magnetic fields of the pump [1].
In the market of vacuum equipment MDP systems are quite widely presented by Gamma Vacuum Co.
Characteristics of the pumps of this company do not concede to the parametres of the similar products of the type, and by some indicators even surpass them. The design and technology for their manufacture ensure a residual pressure up to 10-12 millibars and exclude a negative influence on the gas environment in the pumped out vacuum system.
The pump design incorporates Eximo system patented by the company, which reduces escape of plasma from the pump in 103 times.
In comparison with the products offered by other companies Gamma Vacuum pumps have a wider range of speeds of pumping out (from 0.2 l/s up to 1200 l/s) and bigger lines of products (Fig.3).
In particular, S batch is represented by pumps 02S, 3S, 10S, 25S, 45S, 75S; L and LX batches – by 100L, 200L, 300L, 400L, 600L, 400LX, 600LX, 800LX, 1200LX; TV batch – by 150TV, 300TV and 600TV.
A figure in the pump name corresponds to the speed of pumping out of the active gases in l/s. This indicator of the combined and triod pumps is 20% lower than that of the traditional pumps. Such pumps have better, than their analogs, ratio of pumping out speed to their weight, which is (4.5–5.0) kg⋅l/s. It should also be pointed out, that Gamma Vacuum pumps are less expensive.
Depending on a customer’s wish, they can be produced in various configurations, and also be supplied with titanium cases. Of special interest is a pump configuration with two flanges, permitting to build it in lengthy vacuum systems, for example, chambers of accelerators [1].
Controllers of Gamma Vacuum pumps (Fig.4) are distinguished by a high reliability and can offer a wide range of operational options in an automatic mode. Controller SPCe has emission analyzer of Fowler-Nordheim. It allows to measure electrical current, which is proportional to the pressure, the emission component, and then due to the increase of voltage up to 12 kV to "burn off" the sources of autoemission. Specialists are also interested in a possibility to start the pumps at a pressure lower than 10-8 millibars and eliminate a short circuit in their interelectrode space.
Controllers can directly or with the help of special units to provide power embedded in the pump getter pumps and heaters.
While operating Gamma Vacuum pumps, one can maintain direct contacts with representatives of the company or specialists from Intek Analitika Joint-Stock Company, which provides consumer support at the stages of development and operation of the products and systems.
Literature
Ultrahigh vacuum in radiation-physical apparatus building. / Edited by G.L.Saksagansky. – M.: Atomizdat, 1976.
G.L.Saksagansky Electric-physical vacuum pumps. – M.: Atomizdat,1988.
L.N.Rozanov Vacuum technologies. – M.: Higher School, 1990.
Vacuum technologies: Reference Book. K.E.Demi-khov, Ju.V.Panfilov, N.K.Nikulin and others. / Under general editorship of K.E.Demikhov and Ju.V.Panfilov. Third edition, revised and supplemented. – М.: Mashinostroyeniye, 2009.
предельный вакуум до 10-11 мбар;
ресурс работы до 106 ч;
индикацию давления;
сухую "безмасляную" откачку;
откачку активных газов в нерабочем состоянии за счет сорбции распыленных при работе пленок титана;
высокую эксплуатационную надежность;
низкую стоимость обслуживания;
различное расположение насоса при монтаже;
бесшумную работу и отсутствие вибраций.
На корпусе насоса размещаются магниты, а внутри его расположен откачивающий элемент. Физически принцип откачки связан с ионно-сорбционным поглощением газа [2–4].
Основные узлы типового диодного откачивающего элемента насоса представлены на рис.1. Магнитное поле с индукцией до 1200 Гс направлено вдоль оси цилиндрических анодных ячеек, имеющих положительный относительно катода потенциал, равный 4–7 кВ. При понижении давления и приложении между анодом и катодом напряжения в пространстве между торцевыми катодами в цилиндрической ячейке зажигается разряд Пеннинга.
Откачиваемые газы ионизируются электронами, выбиваемыми из катода при автоэлектронной эмиссии или в результате его бомбардировки ионами откачиваемого газа.
За счет воздействия на катод положительных ионов распыляется титан, осаждающийся на аноде, где он, благодаря высоким поглощающей способности и химической активности, взаимодействует с химически активными газами, образуя прочные хемосорбированные связи. Механизм откачки инертных газов заключается в физической адсорбции положительных ионов на катоде, а отрицательных ионов и высокоэнергетических нейтральных частиц – на аноде и последующем их "замуровывании" молекулами с катода. Откачка инертных газов активизируется, если использовать катод насоса из материала с большей плотностью, например, тантала [2, 3].
Другой способ увеличения эффективности откачки инертных газов – применение триодной системы (рис.2) с катодом в виде сетки или решетки, а напыление титана ведется дополнительно на коллектор, являющийся корпусом насоса [2].
Основная причина выработки ресурса МЭРН связана с расходом материала катодных пластин или с их деформацией в результате насыщения водородом. Распыление материала катодов и их насыщение связаны с рабочим давлением насоса [1], поэтому ресурс МЭРН привязан к давлению 10-6 мбар. Как правило, он колеблется в диапазоне (5–8)×104 ч.
Для увеличения ресурса работы необходимо уменьшить время выхода насоса на рабочее давление, что обеспечивается предварительной откачкой с использованием азотных криосорбционных насосов, удаляющих пары воды. В системе, которая часто вскрывается на атмосферу, МЭРН изолируется клапаном, а перед напуском в нее атмосферного газа система заполняется сухим азотом. Эффективность откачки МЭРН возрастает при встраивании в их рабочий объем дополнительных насосов с распыляемыми или нераспыляемыми геттерами и криопанелей [1].
При откачке технологическая среда может подвергаться воздействию вакуумной откачной системы. Влияние МЭРН на среду может объясняться миграцией остатков веществ, используемых при механической обработке деталей насоса; загрязнениями, входящими в состав конструкционных и сорбционных материалов; микротечами; десорбцией ранее "замурованных" молекул инертных газов; выходом плазмы из разрядного промежутка. Кроме того, на среду могут воздействовать рассеянные магнитные поля насоса [2].
На рынке вакуумного оборудования МЭРН достаточно полно представлены компанией Gamma Vacuum. Характеристики насосов этой компании не уступают параметрам аналогичных изделий данного типа, а по некоторым показателям превосходят их. Конструкция и технология их изготовления обеспечивают остаточное давление до 10-12 мбар и исключают отрицательное воздействие на газовую среду в откачиваемой вакуумной системе. В конструкцию насоса введена запатентованная компанией система Eximo, снижающая поступление плазмы из насоса в 103 раз.
Насосы Gamma Vacuum по сравнению с изделиями, предлагаемыми другими компаниями, имеют более широкий диапазон скоростей откачки (от 0,2 до 1200 л/с) и более полный модельный ряд (рис.3). В частности, легкая серия S представлена насосами 02S, 3S, 10S, 25S, 45S,75S; серия L и LX – 100L, 200L, 300L, 400L, 600L, 400LX, 600LX, 800LX, 1200LX; серия TV – 150TV, 300TV, 600TV.
Цифра в названии насоса соответствует скорости откачки активных газов (л/с), которая у комбинированного и триодного насосов на 20% меньше, чем у традиционных. Эти насосы имеют лучший, по сравнению с аналогами, коэффициент отношения скорости откачки к его весу, составляющий (4,5–5,0) кг⋅л/с. Следует отметить также, что насосы Gamma Vacuum имеют меньшую стоимость.
В зависимости от пожелания заказчика, они могут быть скомпонованы в различной конфигурации, а также поставляться с титановыми корпусами. Особо интересна компоновка насоса с двумя фланцами, позволяющими встраивать его в протяженные вакуумные системы, например, в камеры ускорителей [1].
Контроллеры насосов Gamma Vacuum (рис.4) отличаются высокой надежностью, позволяют в автоматическом режиме реализовывать широкий диапазон эксплуатационных опций. Все контроллеры имеют жидкокристаллический дисплей, на котором отображаются значения напряжения, тока и давления. Контроллер SPCe в своем составе имеет эмиссионный анализатор Фаулера-Нордхейма, что позволяет определять в измеряемом электрическом токе, который пропорционален давлению, эмиссионную составляющую и затем за счет увеличения напряжения до 12 кВ осуществлять "выжигание" источников автоэмиссии. Интерес специалистов вызывает возможность быстрого запуска насосов при давлении ниже 10-8 мбар и оперативного устранения замыкания межэлектродного пространства насоса.
Контроллеры позволяют напрямую или с помощью специальных блоков обеспечивать питание встраиваемых в насос геттерных насосов и нагревателя.
При использовании насосов компании Gamma Vacuum можно непосредственно контактировать с представителями фирмы либо специалистами ЗАО "Интек Аналитика", осуществляющими поддержку потребителя на стадиях разработки и эксплуатации вакуумных изделий и систем.
Литература
Сверхвысокий вакуум в радиационно-физическом аппаратостроении. / Под ред. Г.Л.Саксаганского. – М.: Атомиздат, 1976.
Саксаганский Г.Л. Электро-физические
вакуумные насосы. – М.: Атомиздат,1988.
Розанов Л.Н. Вакуумная техника. – М.: Высшая школа, 1990.
Вакуумная техника: справочник.
К.Е.Демихов, Ю.В.Панфилов, Н.К.Никулин и др. / Под общ. ред. К.Е.Демихова,
Ю.В.Панфилова, 3 изд-е, перераб. и доп. –
М.: Машиностроение, 2009.
Magnetic discharge (ion) pumps (МDP) are the most asked for devices for creation of high vacuum [1, 2, 4]. They ensure:
Ultimate vacuum up to 10-11 millibars;
Service life up to 106 hours;
Pressure indication;
Dry oil-free pumping out;
Pumping out of the active gases in an inactive status due to sorption of the titanium films dispersed during operation;
High operational reliability;
Low cost of service;
Various possible installation positions of the pump;
Noiseless work and absence of vibrations.
Magnets are fixed on the pump case, and inside of it a pumping out element is located. The physical operating principle of pumping out is based on an ion-sorbtion gas absorption [2–4].
The basic units of a typical diod pumping out element of the pump are presented on Fig.1. A magnetic field with an induction up to 1200 gauss is directed along the axis of the cylindrical anode cells which have in relation to the cathode positive potential equal to 4 – 7 kV. When the pressure is lowered and voltage is applied between the anode and the pressure cathode, Penning discharge lights up in the space between the face cathodes in a cylindrical cell.
The pumped out gases are ionized by the elecrones knocked out of the cathode during an autoelectronic emission or as a result of its bombardment by ions of the pumped out gas.
Titanium under the impact of the positive ions on the cathode is dispersed and falls out on the anode, where it due to its high absorptive capacity and chemical activity interacts with the chemically active gases and forms strong chemisorbed links.
The mechanism of pumping out of the inert gases boils down to a physical adsorption of the positive ions on the cathode, and negative ions and high-energy neutral particles – on the anode, and their subsequent "immuring" by the molecules from the cathode. Pumping out of the inert gases becomes more active, if the cathode of the pump is made from a material with higher density, for example, tantalum [2, 3].
Another way to increase the efficiency of pumping out of the inert gases is application of a triode system (Fig.2) with the cathode made in the form of a grid or a lattice, while sputtering of the titanium is implemented additionally on the collector, which also is the case of the pump [2].
The principal cause of depletion of MDP resource is due to the consumption of the material of the cathode plates or to their deformation as a result of saturation by hydrogen. Dispersion of the cathodes and their saturation are connected with the working pressure of the pump [1], therefore the service life of MDP is determined by the pressure of 10-6 millibars. As a rule, it fluctuates within the range of (5–8) ×104 hours.
In order to increase the service life it is necessary to reduce the period of time necessary for the pump to achieve the working pressure which is done by a preliminary pumping out with the use of cryogetter pumps removing the water vapors. The system which is often open for the atmosphere, MDP is isolated by a valve, and before the atmospheric gas is admitted into it the system is filled with a dry nitrogen. MDP’s pumping out efficiency is increased, if additional getter and cryogenic devices are embedded in their working volume [2].
During the pumping out process the technological environment can be exposed to the influence of the vacuum evacuation system. Influence of MDP on the environment can be explained by the following factors: Migration of the residual substances used for mechanical processing of the parts of a pump; impurities which are a part of the constructional and sorption materials; microleaks; desorption of the previously "immured" molecules of the inert gases; escape of plasma from a discharge gap. Besides, the environment can be affected by the scattered magnetic fields of the pump [1].
In the market of vacuum equipment MDP systems are quite widely presented by Gamma Vacuum Co.
Characteristics of the pumps of this company do not concede to the parametres of the similar products of the type, and by some indicators even surpass them. The design and technology for their manufacture ensure a residual pressure up to 10-12 millibars and exclude a negative influence on the gas environment in the pumped out vacuum system.
The pump design incorporates Eximo system patented by the company, which reduces escape of plasma from the pump in 103 times.
In comparison with the products offered by other companies Gamma Vacuum pumps have a wider range of speeds of pumping out (from 0.2 l/s up to 1200 l/s) and bigger lines of products (Fig.3).
In particular, S batch is represented by pumps 02S, 3S, 10S, 25S, 45S, 75S; L and LX batches – by 100L, 200L, 300L, 400L, 600L, 400LX, 600LX, 800LX, 1200LX; TV batch – by 150TV, 300TV and 600TV.
A figure in the pump name corresponds to the speed of pumping out of the active gases in l/s. This indicator of the combined and triod pumps is 20% lower than that of the traditional pumps. Such pumps have better, than their analogs, ratio of pumping out speed to their weight, which is (4.5–5.0) kg⋅l/s. It should also be pointed out, that Gamma Vacuum pumps are less expensive.
Depending on a customer’s wish, they can be produced in various configurations, and also be supplied with titanium cases. Of special interest is a pump configuration with two flanges, permitting to build it in lengthy vacuum systems, for example, chambers of accelerators [1].
Controllers of Gamma Vacuum pumps (Fig.4) are distinguished by a high reliability and can offer a wide range of operational options in an automatic mode. Controller SPCe has emission analyzer of Fowler-Nordheim. It allows to measure electrical current, which is proportional to the pressure, the emission component, and then due to the increase of voltage up to 12 kV to "burn off" the sources of autoemission. Specialists are also interested in a possibility to start the pumps at a pressure lower than 10-8 millibars and eliminate a short circuit in their interelectrode space.
Controllers can directly or with the help of special units to provide power embedded in the pump getter pumps and heaters.
While operating Gamma Vacuum pumps, one can maintain direct contacts with representatives of the company or specialists from Intek Analitika Joint-Stock Company, which provides consumer support at the stages of development and operation of the products and systems.
Literature
Ultrahigh vacuum in radiation-physical apparatus building. / Edited by G.L.Saksagansky. – M.: Atomizdat, 1976.
G.L.Saksagansky Electric-physical vacuum pumps. – M.: Atomizdat,1988.
L.N.Rozanov Vacuum technologies. – M.: Higher School, 1990.
Vacuum technologies: Reference Book. K.E.Demi-khov, Ju.V.Panfilov, N.K.Nikulin and others. / Under general editorship of K.E.Demikhov and Ju.V.Panfilov. Third edition, revised and supplemented. – М.: Mashinostroyeniye, 2009.
Отзывы читателей
