eng
Выпуск #1/2016
Т.Земперович
Оборудование для передовых полупроводниковых производств
Оборудование для передовых полупроводниковых производств
Просмотры: 3651
DOI:10.22184/1993-8578.2016.63.1.54.56
SUSS MicroTec – один из мировых лидеров в области решений для формирования микро- и наноструктур на полупроводниковых пластинах. Созданная в 1949 году в Германии компания более 50 лет носила имя основателя – Карла Зюсса (Karl Süss), а в 2001 году получила современное название. На предприятиях в Германии, Швейцарии и США производится оборудование для нанесения фоторезиста, экспонирования, проявки, монтажа (бондинга) и демонтажа пластин, микро- и наноимпринтинга, лазерной обработки, плазменной обработки и других технологических операций. Портфолио компании включает как автоматизированные системы, в том числе кластерного типа, так и устройства с ручным управлением. О позиционировании и преимуществах решений компании рассказал менеджер по продажам в регионе EMEA (Европа, Ближний Восток и Африка) Тило Земперович.
Господин Земперович, как оцениваются позиции SUSS MicroTec в полупроводниковой отрасли и какова структура бизнеса компании?
Мы занимаем ведущие позиции в области разработки и производства оборудования для обработки пластин. Основу для лидерства создают более чем 65-летний опыт работы, тесное сотрудничество с ведущими научными центрами, среди которых IMEC (Бельгия), Fraunhofer IZM (Германия) и ITRI (Тайвань), а также ориентация на инновационные технологические направления. Наше оборудование используют ведущие производители полупроводниковой техники: Infineon, IBM, Motorola, Siemens, Philips и др.
В структуру компании входят три подразделения, специализирующиеся на оборудовании для работы с фоторезистами, системах для литографии, а также устройствах для бондинга. Более 75% заказов приходится на долю оборудования для литографии. Объем продаж в 2015 году составил 148,5 млн. евро, что более чем на 3 млн. евро больше, чем в предыдущем году. Более половины продаж обеспечивает рынок Восточной Азии, около четверти – европейский рынок.
Какие сегменты рынка наиболее перспективны с точки зрения вашей компании?
Таких сегментов три: 3D-интеграция и новые технологии сборки; производство микросистемной техники (МЭМС); выпуск оптоэлектронных устройств, в первую очередь – светодиодов.
3D-интеграция – направление развития полупроводниковых приборов, которое находится в стадии становления. Преимущества трехмерной архитектуры, в частности, компактность приборов, уменьшение энергопотребления, повышение быстродействия, сокращение себестоимости, создают предпосылки для его успешного роста. Тем не менее, пока в промышленном производстве используются, в основном, компромиссные решения – так, называемые 2,5D-технологии, например, монтаж на промежуточную пластину (интерпозер). Мы разрабатываем и производим оборудование для реализации основных технологических процессов 3D- и 2,5D-интеграции, например, литографические системы, которые могут применяться в том числе для многоуровневой металлизации (RDL), лазерные установки для формирования переходных отверстий TSV (Thru-Silicon-Via), системы для монтажа (бондинга) пластины на временный носитель и демонтажа с последующей очисткой и др.
3D- и 2,5D-интеграция находит все более широкое применение в производстве МЭМС для бытовой и промышленной электроники, автомобилестроения, медицинского оборудования, авиационной и космической техники и других промышленных отраслей. Если в 2015 году объем рынка МЭМС оценивался в 12,5 млрд. долл., то к 2020 году ожидается, что он превысит 21 млрд. долл. Наша компания является одним из пионеров в разработке и производстве технологического оборудования для изготовления МЭМС. Мы предлагаем автоматические системы фотолитографии, установки для нанесения фоторезиста, совмещения, экспонирования и проявления, устройства монтажа и демонтажа пластин. Перечисленные виды оборудования, а также системы наноимпринтинга успешно применяются и в производстве светодиодов на кремниевой основе.
Следует отметить, что все три ключевых направления ориентированы на быстро растущие рынки персональных электронных устройств, светотехники, Интернета вещей и т.п.
Насколько важен для компании российский рынок?
Наше оборудование используют передовые российские компании: "Зеленоградский нанотехнологический центр", НПК "Технологический центр" (Зеленоград), НПП "Квант" (Москва), "Светлана-Рост" (Санкт-Петербург), НПП "Исток" (Фрязино), НПП "Салют" (Нижний Новгород) и многие другие производственные и исследовательские организации. Мы уверены в хорошем потенциале российского рынка и высоко оцениваем результаты сотрудничества с дистрибьютером – компанией "ТБС".
Господин Земперович, как оцениваются позиции SUSS MicroTec в полупроводниковой отрасли и какова структура бизнеса компании?
Мы занимаем ведущие позиции в области разработки и производства оборудования для обработки пластин. Основу для лидерства создают более чем 65-летний опыт работы, тесное сотрудничество с ведущими научными центрами, среди которых IMEC (Бельгия), Fraunhofer IZM (Германия) и ITRI (Тайвань), а также ориентация на инновационные технологические направления. Наше оборудование используют ведущие производители полупроводниковой техники: Infineon, IBM, Motorola, Siemens, Philips и др.
В структуру компании входят три подразделения, специализирующиеся на оборудовании для работы с фоторезистами, системах для литографии, а также устройствах для бондинга. Более 75% заказов приходится на долю оборудования для литографии. Объем продаж в 2015 году составил 148,5 млн. евро, что более чем на 3 млн. евро больше, чем в предыдущем году. Более половины продаж обеспечивает рынок Восточной Азии, около четверти – европейский рынок.
Какие сегменты рынка наиболее перспективны с точки зрения вашей компании?
Таких сегментов три: 3D-интеграция и новые технологии сборки; производство микросистемной техники (МЭМС); выпуск оптоэлектронных устройств, в первую очередь – светодиодов.
3D-интеграция – направление развития полупроводниковых приборов, которое находится в стадии становления. Преимущества трехмерной архитектуры, в частности, компактность приборов, уменьшение энергопотребления, повышение быстродействия, сокращение себестоимости, создают предпосылки для его успешного роста. Тем не менее, пока в промышленном производстве используются, в основном, компромиссные решения – так, называемые 2,5D-технологии, например, монтаж на промежуточную пластину (интерпозер). Мы разрабатываем и производим оборудование для реализации основных технологических процессов 3D- и 2,5D-интеграции, например, литографические системы, которые могут применяться в том числе для многоуровневой металлизации (RDL), лазерные установки для формирования переходных отверстий TSV (Thru-Silicon-Via), системы для монтажа (бондинга) пластины на временный носитель и демонтажа с последующей очисткой и др.
3D- и 2,5D-интеграция находит все более широкое применение в производстве МЭМС для бытовой и промышленной электроники, автомобилестроения, медицинского оборудования, авиационной и космической техники и других промышленных отраслей. Если в 2015 году объем рынка МЭМС оценивался в 12,5 млрд. долл., то к 2020 году ожидается, что он превысит 21 млрд. долл. Наша компания является одним из пионеров в разработке и производстве технологического оборудования для изготовления МЭМС. Мы предлагаем автоматические системы фотолитографии, установки для нанесения фоторезиста, совмещения, экспонирования и проявления, устройства монтажа и демонтажа пластин. Перечисленные виды оборудования, а также системы наноимпринтинга успешно применяются и в производстве светодиодов на кремниевой основе.
Следует отметить, что все три ключевых направления ориентированы на быстро растущие рынки персональных электронных устройств, светотехники, Интернета вещей и т.п.
Насколько важен для компании российский рынок?
Наше оборудование используют передовые российские компании: "Зеленоградский нанотехнологический центр", НПК "Технологический центр" (Зеленоград), НПП "Квант" (Москва), "Светлана-Рост" (Санкт-Петербург), НПП "Исток" (Фрязино), НПП "Салют" (Нижний Новгород) и многие другие производственные и исследовательские организации. Мы уверены в хорошем потенциале российского рынка и высоко оцениваем результаты сотрудничества с дистрибьютером – компанией "ТБС".
Отзывы читателей
