методика применения средств визуальной аналитики для управления качеством технологических процессов формирования кристаллов СБИС. Рассмотрено применение предложенной методики управления качеством на примерах обнаружения неисправности имплантера и проектирования тестовой структуры контроля сопротивления LDD-областей.

УДК 004.942
DOI: 10.22184/1993-8578.2018.82.376.384

sitemap

Разработка: студия Green Art