DOI: 10.22184/1993-8578.2018.83.3.210.214
Во-первых, мы располагаем специальным подразделением, которое занимается разработкой и производством мишеней. Компетенции в этой области дают дополнительные возможности для совершенствования технологий и оборудования.
Во-вторых, мы можем оптимизировать оборудование по таким важнейшим для заказчика параметрам, как технологические показатели, производительность и цена. Наши системы строятся по модульному принципу, поэтому есть возможность создания из разных модулей такой конфигурации, которая наилучшим образом отвечает задачам заказчика. В отличие от большинства конкурентов, мы практически не поставляем готовые серийные установки. На практике, каждый проект в чем-то уникален, требует индивидуальных решений, которые мы создаем для заказчика. По сути, мы помогаем клиентам воплощать в жизнь их идеи.
И, наконец, мы обладаем большим опытом разработки автоматизированного оборудования, в том числе автоматических установок, которые работают практически без участия человека. В этом случае функции оператора исчерпываются выбором кассеты с подложками и заданием на пульте управления технологического режима, после чего система работает автономно, обрабатывая пластину за пластиной и автоматически выполняя необходимые манипуляции, например, переворачивая подложки, если это требуется. Такой автомат можно, к примеру, оставить работать в ночную смену так, чтобы утром получить готовую партию продукции.
Действительно, есть несколько серий оборудования, на основе которых разрабатываются решения для конкретных заказчиков. Серия Star – кластерные установки для пластин диаметром до 200 мм, которые ориентированы в основном на исследовательские и образовательные задачи. Для пилотного и мелкосерийного производства хорошо подходит серия Boxx, которую отличают размещение подложек на барабане и использование вертикальных магнетронов. На базе серии Line создаются поточные линии для крупносерийного и массового производства, которые могут работать в круглосуточном режиме с производительностью до нескольких пластин в минуту. Подложки в таких линиях подаются в модули напыления горизонтальным или вертикальным транспортером. Поточные линии используются, например, в производстве солнечных панелей, когда размер подложки может достигать 1 200 Ч 600 мм, или в автомобильной промышленности для нанесения специальных покрытий на ветровые стекла. На основе серии Roll создаются рулонные системы для обработки металлических и полимерных материалов шириной до 1 900 мм. Они применяются, в частности, в производстве гибкой электроники и тонкопленочных твердотельных аккумуляторов Li-Ion.
Какие области использования тонкопленочных технологий вы считаете наиболее перспективными?
Развитие производства электромобилей создало основу для взрывного роста спроса на уже упоминавшиеся тонкопленочные твердотельные аккумуляторы. В связи с этим мы рассчитываем на новые заказы систем, работающих по технологии "из рулона в рулон". Весьма многообещающее направление – производство солнечных батарей, которое почти полностью переместилось в Китай и переживает там настоящий бум. Вообще следует отметить, что крупные заказы на производственное оборудование поступают в основном из Восточной Азии, а в Европе востребованы преимущественно установки для исследований и мелкосерийного производства. Третья тенденция – рост производства датчиков, что в большой степени обусловлено развитием Интернета вещей.
Особо хотелось бы отметить рост использования тонкопленочных технологий в производстве оптических элементов – фильтров, просветленной оптики и т.п. Специально для этого рынка мы разработали новую установку магнетронного напыления, которая позволяет наносить более 100 слоев при высочайшей однородности покрытия. В ней применены очень экономичные и эффективные цилиндрические магнетроны, а подложки размещаются на карусели, вращающейся со скоростью до 250 об/мин. При этом мишень расположена внизу, и поток частиц идет снизу вверх, что обуславливает его высокую однородность и минимизирует дефекты при отрыве крупных частиц. Толщина покрытия контролируется автоматически с точностью до ангстрема.
Как вы оцениваете перспективы оборудования FHR в России?
Россия – большой, достаточно сложный, но и очень интересный рынок. Мы можем предложить российским заказчикам настоящее немецкое качество, поскольку наше оборудование проектируется и собирается в Германии из компонентов немецкого производства и управляется программным обеспечением нашей собственной разработки. При этом, как показал мониторинг рынка, разница в цене между нашими установками и, например, изготовленными в Восточной Европе незначительна. Важно, что FHR является частью промышленной группы Centrotherm, что дает дополнительную уверенность заказчикам в прочности наших позиций. Не менее важно и то, что в России нас представляет надежный партнер – компания "ЗЭНКО ПЛАЗМА".
Как ведется совместная работа с ООО "ЗЭНКО ПЛАЗМА" по поставкам оборудования на российском рынке?
В России наиболее востребованы системы магнетронного напыления серий Star-100/150 (диаметр подложек до 100 мм / 200 мм) в конфигурации TetraCo (три магнетрона и ВЧ-очистка подложки), серии Boxx и Micro. Инженеры и специалисты нашего партнера в России осуществляют полный цикл работ по решению задач заказчика: согласование технических и технологических условий и требований заказчика, подбор соответствующих требованиям модели и конфигурации оборудования, организацию лабораторных испытаний на производственном предприятии в Германии с предоставлением заказчику отчета о достигнутых результатах, согласование требований к инженерной инфраструктуре для успешного запуска и функционирования оборудования с выполнением в случае необходимости проектной работы, в частности по изменению существующей инфраструктуры или созданию ее с нуля в соответствии с требованиями и нормами технических регламентов РФ. Так, например, возможно проектирование и поставка систем газоподачи и газоподготовки, утилизации выбросов, вакуумпроводов, климатических систем, чистых помещений. "ЗЭНКО ПЛАЗМА" осуществляет приемку оборудования на фабрике в Германии, причем возможно участие представителей конечного пользователя, после чего организует его доставку в Россию и таможенное оформление. Затем специалисты "ЗЭНКО ПЛАЗМА" выполняют полный комплекс работ по монтажу, подключению и проверке оборудования на соответствие технологическим и техническим требованиям. В случае, если оборудование поставляется со сложными процессами, возможно участие нашего технолога. После ввода оборудования в эксплуатацию обеспечиваются гарантийное обслуживание и поддержка пользователя. За время совместной работы компания "ЗЭНКО ПЛАЗМА" зарекомендовала себя как надежный и квалифицированный партнер, что позволяет нам с уверенностью предлагать наше сложное высокотехнологичное оборудование российским заказчикам.
Интервью: Дмитрий Гудилин