Контроль электрических, геометрических и оптических характеристик функциональных тонких пленок на стекле, фольге и полупроводниковых пластинах позволяет оптимизировать процессы их нанесения, повышать качество покрытий и сокращать затраты. Одним из новых направлений в этой области является применение высокочастотного вихретокового контроля. Приборы, основанные на данном методе измерений, выпускает компания SURAGUS из Дрездена (Германия), которая была основана для коммерциализации разработок Института керамических технологий и систем общества Фраунгофера (Fraunhofer IKTS). В России приборы SURAGUS представляет компания МИНАТЕХ. На выставке SEMICON Europa 2017 на вопросы нашего журнала ответил управляющий директор SURAGUS Маркус Кляйн.

DOI: 10.22184/1993-8578.2018.83.3.216.218

sitemap

Разработка: студия Green Art