Наноиндустрия #2/2024
А.А.Терентьев, А.В.Смирнов
ИССЛЕДОВАНИЯ ВОЗМОЖНОСТИ СОЗДАНИЯ ПЕРЕМЕННЫХ ЕМКОСТЕЙ НА ГИБКОЙ ОСНОВЕ ДЛЯ СИСТЕМ ДИСТАНЦИОННОГО ИЗМЕРЕНИЯ ДАВЛЕНИЯ
Аннотация. Отработана технология напыления кремния, удалось получить прочную поликристаллическую пленку кремния, обладающую хорошей адгезией на подложке ПЭТ толщиной 150…200 нм. С помощью данной технологии был изготовлен опытный образец гибкой переменной емкости. Исследование изменения емкости от изменения воздействующего на него давления имеет линейный вид, что позволяет открывает возможность использования данной технологии для изготовления датчика давления.
Наноиндустрия #1/2024
А.В.Смирнов, О.П.Чернова, А.А.Терентьев
СИНТЕЗ И ИССЛЕДОВАНИЕ ЭЛЕКТРОПРОВОДИМОСТИ ПЛЕНОК МЕДИ, ПОЛУЧЕННЫХ МЕТОДОМ ВОССТАНОВЛЕНИЯ ОКСИДА МЕДИ КАТОДНЫМ РАСПЫЛЕНИЕМ В АТМОСФЕРЕ ВОДОРОДА ДЛЯ СОЗДАНИЯ ПЛЕНОЧНЫХ ЭЛЕКТРОДОВ ПЕРЕМЕННЫХ ЕМКОСТЕЙ
DOI: 10.22184/1993-8578.2024.17.1.18.24 Рассмотрена особенность синтеза пленок меди методом катодного распыления. Проведено их оксидирование и дальнейшее восстановление пленок оксида обратно до металлической фазы. Восстановление проводилось бомбардировкой атомами меди в атмосфере водорода. Такой способ получения металлических пленок меди дает лучшую электропроводимость. Измерены поверхностные удельные сопротивления четырехзондовым методом. Исследованы УФ-вид-спектры пропускания и поглощения. Предложены практические применения выявленным зависимостям.
Наноиндустрия #2/2023
А.В.Смирнов
КОСВЕННЫЙ МЕТОД ОПРЕДЕЛЕНИЯ ТОЛЩИНЫ ТОНКИХ ПЛЕНОК МЕТАЛЛОВ ПО ИНТЕРФЕРЕНЦИОННОМУ ЭФФЕКТУ НА ПЛЕНКАХ СЕЛЕНА
DOI: https://doi.org/10.22184/1993-8578.2023.16.2.124.129 Рассмотрены методики определения толщин тонких пленок металлов. Синтезированы тонкие пленки аморфного селена, серебра и слоев серебра на пленке из селена. На УФ-спектрофотометре сняты спектры оптического пропускания. Предложена методика определения толщины тонких пленок металлов по интерференционному эффекту в некотором диапазоне толщин пленок селена. Проведены соответствующие вычисления.
Наноиндустрия #1/2023
E.C.Тюнтеров, В.С.Абруков, В.А.Мукин, А.В.Смирнов, Д.В.Петров, Н.И.Петров, Н.В.Александрова, И.Ю.Семенова
МЕТОДОЛОГИЯ РАЗРАБОТКИ ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ СИСТЕМ С ЗАДАННОЙ ГАЗОЧУВСТВИТЕЛЬНОСТЬЮ ДЛЯ ХЕМОРЕЗИСТИВНОЙ ГАЗОВОЙ СЕНСОРИКИ БЕЗ ИСТОЧНИКОВ ПИТАНИЯ
DOI: https://doi.org/10.22184/1993-8578.2022.16.1.22.28 Представлена методология разработки тонкопленочных систем, которая позволит получать хеморезистивные сенсоры с заданной газочувствительностью. Методология заключается в проведении серий экспериментов по синтезу тонкопленочных систем с использованием различных технологий синтеза (различные исходные материалы, параметры синтеза тонких пленок, различные методы синтеза тонких пленок: терморезистивное испарение, воздушно-капельное распыление, отжиг в атмосфере кислорода), проведении измерений их свойств и характеристик, создании базы данных результатов экспериментов; обобщении зависимостей, содержащихся в экспериментальных данных с помощью искусственных нейронных сетей в виде многофакторных вычислительных моделей. Эти модели позволят решать прямые и обратные задачи, экстраполировать выявленные в экспериментальных данных зависимости, проводить виртуальные эксперименты.