Наноиндустрия - научно-технический журнал - Материалы тега

главная

eng

Вход

Архив журнала

Журналы

Медиаданные

Редакционная политика

Авторам

Контакты

© 2001-2026
РИЦ Техносфера
Все права защищены
Тел. +7 (495) 234-0110
Оферта

R&W

ISSN 1993-8578
ISSN 2687-0282 (online)

Книги по нанотехнологиям

Тег "переменная емкость"

Электроника НТБ #6/2025
В. Кочемасов, В. Горбачев, С. Хорев
ВЫСОКОЧАСТОТНЫЕ КОНДЕНСАТОРЫ ПО ТЕХНОЛОГИИ MEMS

DOI: 10.22184/1992-4178.2025.247.6.116.124 В статье представлен обзор основных технологий, применяемых для изготовления микроэлектромеханических систем (МЭМС). Рассматриваются особенности конструкций MEMS-конденсаторов и принципы их работы, а также приводятся примеры устройств на их основе

Наноиндустрия #2/2024
А.А.Терентьев, А.В.Смирнов
ИССЛЕДОВАНИЯ ВОЗМОЖНОСТИ СОЗДАНИЯ ПЕРЕМЕННЫХ ЕМКОСТЕЙ НА ГИБКОЙ ОСНОВЕ ДЛЯ СИСТЕМ ДИСТАНЦИОННОГО ИЗМЕРЕНИЯ ДАВЛЕНИЯ

Аннотация. Отработана технология напыления кремния, удалось получить прочную поликристаллическую пленку кремния, обладающую хорошей адгезией на подложке ПЭТ толщиной 150…200 нм. С помощью данной технологии был изготовлен опытный образец гибкой переменной емкости. Исследование изменения емкости от изменения воздействующего на него давления имеет линейный вид, что позволяет открывает возможность использования данной технологии для изготовления датчика давления.