Наноиндустрия - научно-технический журнал - Материалы тега

главная

eng

Вход

Архив журнала

Журналы

Медиаданные

Редакционная политика

Авторам

Контакты

© 2001-2026
РИЦ Техносфера
Все права защищены
Тел. +7 (495) 234-0110
Оферта

R&W

ISSN 1993-8578
ISSN 2687-0282 (online)

Книги по нанотехнологиям

Тег "mems technology"

Наноиндустрия #7-8/2025
М.А.Сауров, Д.В.Горелов, А.С.Кадочкин, В.В.Светухин
РАЗРАБОТКА МИКРООПТОМЕХАНИЧЕСКОГО ДАТЧИКА ДАВЛЕНИЯ НА ОСНОВЕ ИНТЕРФЕРОМЕТРА МАХА-ЦЕНДЕРА

DOI: https://doi.org/10.22184/1993-8578.2025.18.7-8.420.431 В работе показана возможность создания чувствительных элементов на основе интегрально-оптической технологии и МЭМС-структур. Представлен прототип датчика давления, работающего на принципе оптической интерференции. Чувствительный элемент датчика основан на интерферометре Маха-Цендера, одно из плеч которого располагается на деформируемой мембране. Оптическая схема интерферометра реализована на интегральных волноводах из Si3N4. В ходе исследования выполнена теоретическая оценка влияния деформации мембраны на геометрию волновода. Проведенные расчеты были апробированы в ходе экспериментальных исследований макетов микрооптомеханического датчика давления с различной конфигурацией плеч интерферометра. В результате исследований разработан технологический базис интегрально-оптических датчиков на основе нитрид-кремниевых волноводов и МЭМС-технологии по формированию мембран на кремниевых подложках.