Тег "integrated waveguide"
Наноиндустрия #7-8/2025
М.А.Сауров, Д.В.Горелов, А.С.Кадочкин, В.В.Светухин
РАЗРАБОТКА МИКРООПТОМЕХАНИЧЕСКОГО ДАТЧИКА ДАВЛЕНИЯ НА ОСНОВЕ ИНТЕРФЕРОМЕТРА МАХА-ЦЕНДЕРА
DOI: https://doi.org/10.22184/1993-8578.2025.18.7-8.420.431 В работе показана возможность создания чувствительных элементов на основе интегрально-оптической технологии и МЭМС-структур. Представлен прототип датчика давления, работающего на принципе оптической интерференции. Чувствительный элемент датчика основан на интерферометре Маха-Цендера, одно из плеч которого располагается на деформируемой мембране. Оптическая схема интерферометра реализована на интегральных волноводах из Si3N4. В ходе исследования выполнена теоретическая оценка влияния деформации мембраны на геометрию волновода. Проведенные расчеты были апробированы в ходе экспериментальных исследований макетов микрооптомеханического датчика давления с различной конфигурацией плеч интерферометра. В результате исследований разработан технологический базис интегрально-оптических датчиков на основе нитрид-кремниевых волноводов и МЭМС-технологии по формированию мембран на кремниевых подложках.
Наноиндустрия #7-8/2024
В.В.Амеличев, А.С.Кадочкин, С.С.Генералов, Д.В.Горелов
ОПТИМИЗАЦИЯ ЛОГИЧЕСКОГО ОПТИЧЕСКОГО ВЕНТИЛЯ НА Y-ОБРАЗНОМ ВОЛНОВОДНОМ СУММАТОРЕ
DOI: https://doi.org/10.22184/1993-8578.2024.17.7-8.454.462 Оптические логические вентили являются перспективными компонентами для построения фотонных схем, выполняющих логические операции и вычисления. Проведено исследование методом конечных разностей во временной области (FDTD) логического вентиля на основе Y-образного волноводного сумматора, выполняющего функции "НЕ", "ИЛИ", "исключающее ИЛИ". По результатам исследования оптимизирована конфигурация Y-образного сумматора, обеспечивающая коэффициент затухания (контрастность) порядка 35,4 дБ между логическими "1" и "0" при времени задержки передачи сигнала на выходной порт 0,33 пс. Рассмотрена возможность реализации каскадной схемы для функции "И-НЕ" с контрастностью порядка 34 дБ и временной задержкой передачи 0,73 пс. Предложенная конструкция логического вентиля потенциально может быть использована при разработке фотонных схем на кристалле для повышения их быстродействия и эффективности.